干式真空泵創造了半導體制造所必需的真空空間。

提到“真空"，你會想到什么？或許你會想到像外太空那樣“空無一物"的狀態。如今，真空技術已被廣泛應用于各種產品中，從我們生活中bu可或que的智能手機和電腦等電子設備，到我們日常使用的保溫瓶，甚至包括用于jian端物理實驗的粒子加速器。其中，真空技術在半導體制造領域尤為重要。在半導體襯底晶圓的加工過程中，需要使用真空泵將加工空間（稱為腔室）內的空氣抽出，以最大限度地提高真空度并防止雜質（例如氣體分子）污染。荏原公司精密電子有限公司生產的“干式真空泵"正是在此發揮作用。它能夠有效去除加工空間內的氣體分子，并且由于其氣體接觸區域不使用油，因此可以獲得潔凈的真空環境，無需擔心回流或水/油擴散造成的污染。我公司自1986年起開始銷售干式真空泵，目前是quan球第二大市場fen額持有者。我們在全球擁有50多個服務網點，建立了可靠的全球支持體系，并得到了眾多國際企業的信賴和支持。