平行的兩個螺桿轉子與殼體的內壁之間保持輕微間隙的狀態下旋轉,轉子與殼體之間形成的空間沿軸向連續地傳遞。
氣體從進氣口被吸入空間內,在將其傳送到排氣側以進行排氣的過程中被壓縮和轉移。
螺桿轉子包括矩形,螺旋形,凸棱形等。


優點 從大氣壓到極限壓力的各壓力范圍內,都可連續運行。
缺點 由于是單級壓縮,內部溫度容易升高,有時會受到吸氣氣體的制約。
螺桿干式真空泵是容積式無油干泵,核心為一對平行陰陽螺桿轉子,泵腔內部wan全不使用潤滑油、水等工作介質,依靠精密間隙密封實現抽真空;區別于油封螺桿泵、水環泵、渦旋干泵,是半導體、化工、鋰電主流粗 / 中真空主泵。
陰陽螺桿轉子(核心)
一左旋、一右旋,高精度漸開線 / 擺線齒形,轉子間、轉子與泵殼留有微米級微小間隙(≤0.01mm),旋轉全程互不接觸、無摩擦磨損;分等螺距、變螺距兩種,變螺距內壓縮效率更高、溫升更低。
同步齒輪箱
浸油潤滑,精準控制兩根螺桿同步反向旋轉,保證間隙穩定;僅齒輪箱內部用油,泵腔wan全無油。
泵體冷卻系統
水冷夾套(工業主流)/ 風冷,帶走氣體壓縮熱量;半導體機型多帶溫控防介質冷凝。
軸封、氣鎮閥、進氣過濾
多重機械密封隔絕腐蝕性氣體;氣鎮通入干燥氮氣,抑制水汽、溶劑凝結;前置濾芯阻擋粉塵顆粒。
驅動電機
變頻電機居多,寬負載穩定調速,適配連續工藝抽氣。
吸氣:進氣端容腔容積變大,吸入工藝氣體、蒸汽、微量粉塵;
壓縮輸送:容腔向排氣端移動,容積持續縮小,氣體連續壓縮(變螺距分段壓縮,降溫節能);
排氣:容腔到達排氣口,高壓氣體一次性排出至大氣 / 后處理裝置。
立即詢價
您提交后,專屬客服將第一時間為您服務