羅茨泵具有顯著提高排氣速度的功能。

當與油回轉真空泵或干泵等粗抽泵組合時，在粗抽泵排氣速度下降的壓力范圍內，使用羅茨泵可以使排氣速度顯著上升。

使用了羅茨泵的技術!

半導體工藝、真空蒸餾、真空包裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞實驗、航天開發、真空含浸、真空干燥等

羅茨泵的特點

廣泛應用于與其他泵組合使用

當與油回轉泵或干泵組合使用時，羅茨泵通常用于顯著提高排氣速度和降低極限壓力。

優點　　10KPa～0.1Pa排氣速度大幅提高

缺點　　會有回流

羅茨泵的結構

2個羅茨轉子擠壓氣體

殼體中的兩個8字型轉子裝在軸端部的驅動齒輪上并向相反方向同步旋轉。從進氣口進入的氣體被限制在殼體和轉子之間的空間中，通過轉子的旋轉排出到排氣口側，并通過后段的輔助泵排放到大氣中。

當與油回轉真空泵或干泵等粗抽泵組合時，在粗抽泵排氣速度下降的壓力范圍內，使用羅茨泵可以使排氣速度顯著上升。

羅茨泵的外觀，如圖所示。殼體中的兩個8字型轉子裝在軸端部的驅動齒輪上并向相反方向同步旋轉。

從進氣口進入的氣體被限制在殼體和轉子之間的空間中，通過轉子的旋轉排出到排氣口側，并通過后段的輔助泵排放到大氣中。

轉子間，以及轉子和殼體間不會接觸，保持微小的間隙（0.1至0.3mm）旋轉，對氣體進行壓縮和輸送。轉子室中不需要潤滑油，因此可以實現具有較少油蒸氣污染的真空排氣。轉子可以高速旋轉，因此不必擔心與殼體摩擦的風險。

此類泵可以作為大氣壓下排氣的其他類型泵的輔助泵使用，用于高真空側。特點是可以在極限壓力0.5～５Pa寬范圍內發揮穩定的性能。