有翼的真空泵

渦輪分子泵是由具有渦輪葉片的轉子（動翼）和定子（靜翼）組成的。近年來，性能得到改善并且被廣泛使用

使用渦輪分子泵技術！
半導體制造設備，蒸發設備，濺射設備，分析設備，蝕刻設備，加速器，FPD制造設備等

渦輪分子泵的特點

可以實現在大氣中不能實現的高速旋轉

渦輪分子泵由高速旋轉的動翼和保持靜止的靜翼組成。
動翼以每秒數萬次的速度旋轉，由于動翼上的負荷（阻力），在大氣中會破裂。
因此，渦輪分子泵需要在一定程度的真空中使用，需要干泵或羅茨泵等前級泵。

優點　在分子流領域中，排氣速度是恒定的并且可以連續排氣。此外，不需要再生工作等維護，并且可以進行易燃和腐蝕性氣體的排氣。

缺點　高速旋轉需要注意安全

渦輪分子泵的結構

高速旋轉翼吹走了分子

渦輪分子泵具有交替的動翼和靜翼。 進入進氣口的氣體分子由高速旋轉的動翼提供動量，并被送到下段。 通過多個壓縮段，氣體分子被壓縮并被送到排氣口。