一、全球市場規模（2024-2026）

• 2024 年：整體（含干泵、分子泵等）約38.6 億美元；其中干式真空泵約14.6 億美元。

• 2025 年：整體約23.6–26 億美元（≈165–182 億元人民幣）；干式真空泵約15.8–18.6 億美元。

• 2026 年：預計整體28–30 億美元；干式真空泵約17–20 億美元，年增速8%–10%。

• 長期預測：2030 年整體有望達42–67 億美元，干式真空泵占比超70%。

二、中國市場規模（2024-2026）

• 2025 年：約150 億元人民幣（≈21 億美元），2020-2025 年 CAGR18.5%，顯著高于全球。

• 2026 年：預計170–190 億元；對應干泵需求約14 萬臺（12 英寸晶圓產能 240 萬片 / 月）。

• 2030 年：有望突破300 億元，國產化率目標30%+。

三、結構拆分（需求構成）

• 產品類型：

• 干式真空泵：占比70%–80%（主流：螺桿、羅茨、渦旋、隔膜）。

• 分子泵：占比15%–20%（**工藝、EUV）。

• 其他（油旋片、擴散泵）：<10%，逐步替代。

• 需求來源：

• 新增產能：30%–40%（12 寸廠每 4 萬片 / 月需干泵 2000 臺 + 分子泵 500 臺）。

• 存量更新：60%–70%（干泵壽命 10 年，年更新 10%）。

• 服務市場：占總規模25%（維護、備件、改造）。

四、競爭格局（2025 年）

• 外資（70%+）：

• 愛發科 ULVAC：全球份額30%+，RDA/DIS/DA 系列覆蓋全制程。

• 愛德華 Edwards：份額25%+，GXS 螺桿泵主導先進制程。

• 其他：阿爾卡特、荏原、島津等。

• 五、核心驅動因素

1. 先進制程擴產：3nm/2nm、EUV、3D NAND 堆疊（300 層 +）拉動高潔凈、耐腐蝕干泵需求。

2. 產能東移：中國 12 寸產能全球占比 25%，2026 年新增產能集中在中國大陸。

3. 國產替代加速：政策支持 + 成本優勢（國產干泵價格為進口的 60%–70%），2025-2030 年國產化率從 15% 提升至 30%+。

4. 存量替換高峰：2015-2018 年投產晶圓廠進入 10 年更新周期，2025-2030 年更新需求集中釋放。

六、總結