規模：2025 年營收67.86 億（行業di三），凈利潤13.95 億，在手訂單90.72 億；員工 3000+，研發占比 > 40%
技術：SAPS（空間交替相位）+ TEBO（時序能激氣穴） 原創兆聲波清洗，解決 “均勻性 + 無損傷" 行業痛點
覆蓋：95% 清洗工藝；12 英寸全覆蓋，7nm/5nm 驗證通過
市占：全球8%（僅次于東京電子、Screen、泛林）；中國單片清洗市占 **>30%**（**）
優勢：無應力拋光 + 超薄銅電鍍，服務 3D TSV/2.5D / 先進封裝
市占：全球8.2%；長江存儲、長電科技主力供應商
立式爐管：國產替代主力，進入中芯國際 / 華虹
涂膠顯影：28nm 量產，14nm 驗證
PECVD：先進制程配套，進入頭部產線
先進封裝濕法：全球頭部 OSAT 批量供貨
痛點：傳統兆聲波易損傷先進制程晶圓、均勻性差
突破：SAPS **（全球**），能量均勻分布、0 損傷、良率 + 1.5%
成果：2011 年韓國海力士總部 45nm DRAM 量產訂單，中國shou臺進入國際一線晶圓廠的**清洗設備；2014 年進主線，2018 年批量供貨
**：融合單片（高效）+ 槽式（低耗），化學品消耗 - 90%、成本 - 50%
客戶：長江存儲、合肥長鑫、中芯國際；成為國產存儲 / 先進邏輯**清洗設備
進展：5nm 制程驗證通過，進入臺積電 Fab18、中芯國際 N+2 產線
意義：**國產進入臺積電先進制程的清洗設備，打破日企壟斷
突破：3D 封裝超薄銅電鍍（全球僅 3 家）、晶圓級 / 面板級濕法全棧
客戶：長電科技、通富微電、新加坡 / 北美頭部 OSAT；2025 年訂單超 10 億
長江存儲：清洗設備**大供應商（市占 40%+），覆蓋 90% 產線
中芯國際：12 英寸清洗 / 電鍍主力，28nm/14nm/7nm全節點覆蓋
技術壁壘：SAPS/TEBO 全球****，470 + **（發明 99%）；7nm/5nm 驗證通過
客戶壁壘：覆蓋臺積電、中芯國際、長江存儲、海力士、長電科技全球 TOP20 晶圓廠
平臺化擴張：從清洗延伸至 5 大核心設備，單廠多設備綁定，客戶粘性強
成本優勢：國產替代，價格較日企低30–40%，服務響應快
訂單高景氣：在手訂單90.72 億（1.6 倍于 2024 營收），業績確定性強
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