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日前,北方華創(chuàng)正式發(fā)布全新12英寸氣體團(tuán)簇離子束(GCIB)刻蝕設(shè)備Acme Glaion130。設(shè)備突破三大核心技術(shù)瓶頸,覆蓋先進(jìn)邏輯、存儲(chǔ)、封裝、硅光芯片及AR/VR應(yīng)用場(chǎng)景。
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