目前，公司產品已全面覆蓋電子束晶圓缺陷檢測和復查、關鍵尺寸量測、聚焦離子束分析、智能缺陷分類等芯片前道制造核心應用場景，wan美適配邏輯、存儲、功率半導體等多品類芯片制程需求。
7月27日，上海精測半導體技術有限公司第100臺電子束量檢測設備出貨。
長期以來，gao端電子束量檢測設備作為半導體前道制造的核心關鍵裝備，核心技術、市場fen額長期被海外ju頭壟斷。精測電子團隊聚焦高解析度電子光學系統設計制造、智能量檢測和分類算法、高速高精密系統控制等一系列核心難題，歷經數年技術攻關、反復打磨迭代，成功突破海外技術壁壘，實現設備核心部件100%自研自產，tian補了國內gao端電子束量檢測領域多項ji術空白。
百臺電子束設備的順利交付，上海精測走完了“技術攻堅—產品落地—市場驗證—規模化量產"的完整成長鏈路。目前，公司產品已全面覆蓋電子束晶圓缺陷檢測和復查、關鍵尺寸量測、聚焦離子束分析、智能缺陷分類等芯片前道制造核心應用場景，wan美適配邏輯、存儲、功率半導體等多品類芯片制程需求，批量入駐國內各大主流晶圓廠，深度落地產業一線。
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