日本IWAKI易威奇TC-X/TTD 系列氣動隔膜泵
日本IWAKI易威奇TC-X/TTD 系列氣動隔膜泵

C-X/TTD 系列 氣動隔膜泵（強腐蝕 / 大流量）

材質：Virgin PTFE 隔膜與泵體，耐受強酸、強堿、溶劑及漿料。

規格：6 種流量范圍，Class 100 潔凈室制造

TCX 系列（工業級，強腐蝕 / 大流量，非高純）
接液材質：PPG / GFRPP / PVDF / 鋁 / SUS（非全 PTFE）
壓力：最高 0.7 MPa溫度：0–60℃（標準），0–80℃（HT）

特點：可干轉、自吸、輸送含大顆粒漿料、防爆（氣動）、維護簡單

全型號與核心參數（按口徑從小到大）

TD 核心特點（半導體關鍵）

全 PTFE 接液：無金屬、無橡膠，杜絕金屬離子（Na/K/Fe/Cu）污染

低顆粒設計：潔凈室組裝、無油潤滑、PTFE 閥與隔膜，顆粒等級 ≤0.1 μm

耐高溫：標準 120℃，H 型 150℃，適配高溫濕法（如 120℃磷酸）

低脈動：配合緩沖器可做到 ≤0.02 MPa 脈動，適合精密循環

SEMI 合規：符合 SEMI S2（安全）、SEMI S8（污染控制）

TTD 運用場景（半導體高純濕法）

晶圓清洗（RCA/SC1/SC2/DHF）：輸送高純氨水、雙氧水

刻蝕制程（BOE、磷酸刻蝕）：高純 BOE（ buffered HF）、高溫磷酸（150℃）

CMP 漿料循環：高純拋光液（硅溶膠 / 氧化鋁漿料），低顆粒、無金屬污染

光刻 / 顯影：高純顯影液、剝離液、光刻膠稀釋液（微量顆粒敏感）

化學品輸送與分配：Fab 內高純化學品柜（Chem Cabinet）輸送
再生 / 回收：高純酸回收、超純水循環

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