目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>熱賣 日本進口EBARA荏原>>干式真空泵>> EV-M505SF華南一級代理EBARA 荏原EVM505SF羅茨式干泵
| 供貨周期 | 現貨 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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華南一級代理EBARA 荏原EVM505SF羅茨式干泵
華南一級代理EBARA 荏原EVM505SF羅茨式干泵
小流量（研發 / 中試）：EV?M20N、EV?M102N
中流量（量產主流）：EV?M202N、EV?M302N、EV?M502N、EV?M802N
大流量（**量產）：EV?M1202N、EV?M1205SF（空冷加強型）
| 型號 | 抽速 (L/min) | 極限真空 | 電機功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EV?M20N | 108/130 | ≤0.01Pa | 1.5 | 170 |
| EV?M202N | 2,000/2,400 | ≤0.01Pa | 5.5 | 360 |
| EV?M502N | 5,000/6,000 | ≤0.01Pa | 11 | 500 |
| EV?M802N | 8,000/9,600 | ≤0.01Pa | 15 | 650 |
| EV?M1205SF | 12,000/14,400 | ≤0.01Pa | 22 | 800 |
高負載耐腐：標準鎳合金流路，耐受 HF、Cl?等腐蝕氣體；高溫制程穩定，抗副產物粉塵能力強。
超節能：智能轉速控制 + 怠速 / 休眠，比同級干泵省電 **≈40%**；輕負載功耗低。
高潔凈無油：多級羅茨轉子無接觸、無油，無磨損、免維護，符合 SEMI?S2、CE、NRTL。
寬頻適配：50/60Hz 通用，全球電壓兼容（200–440V）。
智能控制：LCD 控制器，預警 / 報警存儲，可編程閾值，支持遠程監控。
半導體：ALD、LPCVD、MOCVD、刻蝕、PECVD、PVD
面板 / 光伏：薄膜沉積、清洗、真空傳輸
科研 / 工業：高真空鍍膜、精密退火、特種氣體輸送
| 系列 | EV?S（羅茨） | EV?M（多級羅茨） | EV?X（多級羅茨 / 螺桿） |
|---|---|---|---|
| 定位 | 輕負荷 / 潔凈 | 中高負荷 / 腐蝕 | 中負荷 / 中腐蝕 |
| 抽速 | 1,670L/min | 108–14,400L/min | 3,000–30,000L/min |
| 極限真空 | 3Pa | ≤0.01Pa | 0.5Pa |
| 價格 | 3.8 萬起 | 5.5 萬起 | 4.5 萬起 |
| 適合 | Load Lock / 分析儀器 | 刻蝕 / CVD / 高腐蝕 | 刻蝕 / CVD / 中副產物 |
研發 / 小腔室 / 預算緊：選EV?M20N。
半導體量產 / 中高腐蝕：選EV?M202N/EV?M302N。
高負載 / 大流量 / 氫氣制程：選EV?M502N/EV?M802N。
空冷需求 / 無水源：選EV?M1205SF。
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