目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>熱賣 日本進口EBARA荏原>>干式真空泵>> EV-SA30日本進口EBARA荏原EVSA30羅茨干式真空泵
| 供貨周期 | 現貨 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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日本進口EBARA荏原EVSA30羅茨干式真空泵
日本進口EBARA荏原EVSA30羅茨干式真空泵
EV?S（標準輕載型）：清潔 / 中低腐蝕、輕負載，如 Load?lock、SEM、PVD；超節能（0.8–1.5kW）、體積*小。
EV?M（重載制程型）：半導體重制程（CVD / 刻蝕）、副產物多、高腐蝕；高溫防堵、標準耐腐、大流量。
EV?SA/EV?A（風冷小型）：實驗室、分析設備、小腔室；無需水冷、低噪音、即插即用。
EV?L（大流量重載）：大腔室、高產能線；抽速 2,000–18,000 L/min、多級增壓。
**節能：DC 電機 + 智能怠速 / 休眠，比同業低 20–30% 功耗，50/60Hz 性能一致。
緊湊輕量化：同級別占地*小、重量*輕，適配自動化產線與狹小空間。
寬溫防堵：EV?M 系列高溫運行控制，防止 NH?Cl 等副產物冷凝沉積，適配 CVD/ALD。
標準強耐腐蝕：泵體NiResist 耐蝕鑄鐵標配，可選鎳合金 / 涂層，適配 HF、Cl?等腐蝕性氣體。
智能監控合規：LCD 可編程控制器、報警歷史存儲；SEMI?S2/CE/NRTL認證齊全。
| 型號 | 抽氣速度 (L/min) | 極限壓力 (Pa) | 功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
| EV?S20 | 2,000 | 0.4 | 0.8 | 180 |
| EV?S30 | 3,000 | 0.4 | 1.0 | 200 |
| EV?S50 | 5,000 | 0.4 | 1.2 | 240 |
| 型號 | 抽氣速度 (L/min) | 極限壓力 (Pa) | 進氣口徑 | 功率 (kW) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|
| EV?M20N | 1,800 | 5.0 | NW40 | 1.2 | 170 |
| EV?M102N | 10,000 | 0.5 | ISO100 | 1.8 | 320 |
| EV?M202N | 20,000 | 0.5 | ISO100 | 1.9 | 360 |
| EV?M302N | 30,000 | 0.5 | ISO100 | 2.3 | 400 |
| EV?M502N | 50,000 | 0.5 | ISO160 | 2.1 | 450 |
EV?S：Load?lock、PVD、SEM、檢測設備、清潔制程。
EV?M：CVD、刻蝕、ALD、擴散、退火、廢氣處理。
EV?SA/EV?A：實驗室、分析儀器、小型外延、研發設備。
EV?L：大尺寸面板、光伏大腔室、高產能沉積線。
EV 系列：全場景覆蓋、超節能、緊湊；EV?S 輕載，EV?M 重載；適合成本敏感、節能優先、空間受限場景。
ESA 系列：輕氣體 (H?) 高效、MO?CVD/EPI 專用；羅茨結構，氫氣抽氣效率*高。
EST 系列：高溫防堵、強腐蝕、CVD/ALD 重載；螺桿結構，防沉積能力*優。
輕載 / 節能優先：選EV?S（Load?lock/PVD）。
重載 / 腐蝕制程：選EV?M（CVD / 刻蝕）。
MO?CVD/EPI：選ESA（氫氣高效）。
強腐蝕 / 防堵：選EST（螺桿高溫）。
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