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KASUGA 春日電機KDB?SI系列標準離子風棒
KASUGA 春日電機KDB?SI系列標準離子風棒
放電方式:直流 DC 正負獨立放電
核心賣點:全密封防塵結構、陶瓷絕緣、不易積塵、不易漏電、低粒子污染
定位:晶圓制造、探針臺、涂布、曝光、光學工位、超高潔凈區專用
離子平衡:≤±10V
除電速度:10kV→100V,≤1s @150mm
臭氧發生量:極低,滿足高潔凈室要求
推薦安裝距離:100–200mm
放電針:鎢合金材質,耐磨抗氧化
工作溫度:0~40℃
前端防塵套筒 + 全密封陶瓷絕緣結構,粉塵、微粒不易進入棒體內部
高壓部位隔離,減少漏電、打火、粒子產生,不污染晶圓
表面特殊絕緣涂層,耐 IPA、酒精等無塵室清洗劑擦拭
安裝尺寸、接線方式與標準 KDB 通用,可直接互換
不易積灰,維護周期更長,適合高潔凈、少維護的 Fab 車間
KDB:普通封測、組裝產線,性價比
CKDB:粉塵多、切割研磨區,可快速換針
KDB?SI:晶圓前道、高潔凈 Fab、Class100/1000 必選