進口愛發科ULVA DIS系列渦旋式干式真空泵
進口愛發科ULVA DIS系列渦旋式干式真空泵

一、核心定位與原理

• 類型：雙繞式渦旋干泵（1 條軌道渦旋 + 2 條固定渦旋）。

• 原理：動渦旋盤偏心旋轉，與定渦旋盤形成多級壓縮腔，氣體從外周被推向中心，無接觸、無油，直接從大氣壓抽到高真空。

• 核心價值：完quan無油、零返油、低振動噪音、風冷免水、維護極簡。

二、主流型號與規格（3 款）

DIS-90

• 抽速：90 L/min（50Hz）/108 L/min（60Hz）

• 極限真空：≤5 Pa

• 電機：150W，單相 100/115/200/230V

• 接口：吸氣 KF25 / 排氣 KF16

• 尺寸：170×340×255 mm；重量：14 kg

  DIS-251 / DIS-252

• 抽速：500 L/min（50Hz）/600 L/min（60Hz）

• 極限真空：≤1.6 Pa

• 電機：750W，單相 / 三相可選

• 接口：吸氣 KF40 / 排氣 KF25

• 尺寸：280×450×380 mm；重量：38 kg

• 分析儀器：質譜儀、氦氣檢漏儀（前級）、表面分析設備。

• 半導體 / 面板：小型 CVD、PVD、刻蝕設備、真空吸附。

• 通用真空：真空干燥、冷凍干燥、脫氣、氣體回收、小型鍍膜。

• 科研 / 實驗室：真空腔體、實驗裝置、小型真空爐。

• DIS：渦旋式，抽速更小（90–500 L/min）、體積重量更輕、噪音更低、價格更低；適合小型潔凈真空 / 實驗室。

• RDA：多級羅茨式，抽速更大（280–500 L/min）、極限真空更高（≤0.08 Pa）、耐水汽更強；適合中小型工業真空 / 半導體。

• 抽速：250 L/min（50Hz）/300 L/min（60Hz）

• 極限真空：≤1.6 Pa

• 電機：400W，單相 / 三相可選

• 接口：吸氣 KF25 / 排氣 KF16

• 尺寸：252×400×336 mm；重量：25 kg

• DIS-501

  三、關鍵特點

  四、典型應用

  五、DIS vs RDA 系列（核心區別）

  六、使用要點

  
  

1. 無油高潔凈：腔室無潤滑油，零返油、零油霧，適配質譜、氦檢、半導體等潔凈制程。

2. 大氣壓直啟：無需前級泵，直接從大氣啟動，簡化系統、節省空間。

3. 低噪低振：渦旋多級壓縮，振動 <0.1mm、噪音 < 55dB (A)，適合實驗室與精密設備。

4. 風冷免水冷：空氣冷卻，無需冷卻水，安裝靈活，適合移動 / 集成場景。

5. 易維護長壽命：無接觸渦旋盤，無易損件；僅需定期清潔進氣過濾器，維護周期長。

6. 氣鎮設計：內置氣鎮閥，可處理水蒸氣 / 輕溶劑蒸氣，適合干燥 / 脫氣應用。

7. 啟動：大氣壓直接啟動，無需預抽，操作簡單。

8. 氣鎮（可選）：處理水汽時打開氣鎮；高真空時關閉，提升極限真空。

9. 維護：定期清潔進氣過濾器；無油腔室，無需換油，維護成本低。