日本進口 ULVAC愛發科螺桿式真空泵
日本進口 ULVAC愛發科螺桿式真空泵

ULVAC愛發科MS120A/MS600A/MS1200A螺桿式干式真空泵

一、系列概述

ULVAC愛發科MS120A、MS600A、MS1200A螺桿式干式真空泵，是日本愛發科（ULVAC）旗下核心工業級無油真空設備，采用雙螺桿嚙合旋轉結構，屬于干式無油真空泵，無需潤滑油潤滑，從根源上杜絕油污染，契合半導體、鋰電池、制藥等對潔凈度要求高的行業需求。該系列核心作用是直接抽取氣體，實現系統高真空環境，無需搭配前級泵即可獨立運行，憑借運行穩定、噪音低、耐腐蝕、抽速范圍廣的優勢，廣泛應用于半導體制造（CVD、PECVD、蝕刻工藝）、太陽能電池片生產、鋰電池制造、化工蒸餾和干燥、制藥凍干、食品真空處理等多種工業場景，其中MS120A為小型機型，MS600A為中型機型，MS1200A為大型機型，可根據工況流量需求靈活選型。

MS系列整體采用高效節能電機，適配潔凈環境與腐蝕性工況，部分型號可定制防爆、防腐升級，滿足危險工況與腐蝕氣體處理需求，其螺桿與泵腔無接觸摩擦，磨損小、使用壽命長，維護便捷，是現代工業潔凈真空系統的核心配套設備，在光伏和鋰電池制造領域的真空設備供應中占據重要位置。

安裝&外形關鍵尺寸（分型號精簡版）

1. 小型風冷型（MS120A）

•                      整體尺寸（長×寬×高）：約 780×520×650 mm

•                      地腳安裝孔：橫向500mm、縱向300mm

•                      安裝要求：硬質水平地面，加裝減震墊，四周預留≥150mm散熱維護空間，人工可直接搬運，無需專用起重設備；進氣口需加裝高精度過濾器，防止粉塵、雜質進入泵腔，避免螺桿磨損。

2. 中型風冷/水冷型（MS600A）

•                      整體尺寸（長×寬×高）：約 1050×680×820 mm

•                      地腳安裝孔：橫向680mm、縱向420mm

•                      安裝要求：硬質水平混凝土地面，加裝高強度減震墊，四周預留≥250mm散熱維護空間；風冷版本需保證通風良好，水冷版本需單獨連接冷卻水路，冷卻水溫度5-30℃，水壓0.2-0.4MPa；可借助小型起重設備輔助搬運，連接管路需加裝支架，避免管路重量壓迫泵體接口。

3. 大型水冷型（MS1200A）

•                      整體尺寸（長×寬×高）：約 1350×850×1050 mm

•                      地腳安裝孔：橫向850mm、縱向500mm

•                      安裝要求：重型混凝土地面，加裝專用減震裝置，四周預留≥350mm散熱維護空間，需小型起重設備輔助安裝、定位；水冷系統需單獨連接，冷卻水溫度控制在5-30℃，水壓0.3-0.5MPa，冷卻水量≥5L/min；安裝現場需預留檢修空間，便于后期維護。