目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>熱賣日本進口ULVAC愛發科>>干泵>> LS600A-L日本進口ULVAC 愛發科螺桿式干式真空泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
|---|
日本進口ULVAC 愛發科螺桿式干式真空泵
日本進口ULVAC 愛發科螺桿式干式真空泵
高防腐 + 強排粉設計
轉子 / 氣缸：氮化硅 + 陶瓷復合涂層，耐 HCl、HF、有機溶劑，壽命比普通干泵長2–3 倍。
螺桿型線：深螺槽 + 大間隙，防粉塵卡泵，適配刻蝕 / 去膠 / 擴散等含顆粒工況。
全壓力域穩定運行
大氣壓→極限真空連續運行，無喘振；高進氣壓力下抽速大，抽氣時間短。
低噪節能 + 易維護
內置消音器：61–64 dB(A)，安靜運行。
水冷 + 氣冷雙冷卻，24h 連續運行；模塊化結構，拆裝簡單，維護成本低。
核心型號與參數（2026 原裝，50/60Hz）
| 型號 | *大抽速 (m3/h) | 極限真空 (Pa) | 電機功率 (kW) | 重量 (kg) | 吸 / 排口徑 |
|---|---|---|---|---|---|
| MS120A | 115 | ≤0.6 | 2.4 | 約 230 | KF63/KF40 |
| MS600A | 560 | ≤0.1 | 3.1 | 約 550 | ISO100/ISO80 |
| MS1200A | 980 | ≤0.1 | 3.1 | 約 950 | ISO160/ISO125 |
電源：三相 200V/400V，50/60Hz。
冷卻水量：≥4 L/min；吹掃氣：0–50 SLM（防凝液 / 粉塵）。
| 系列 | 類型 | 抽速 (m3/h) | 極限真空 (Pa) | 核心優勢 | 典型場景 |
|---|---|---|---|---|---|
| MS | 防腐螺桿干泵 | 115–980 | 0.1–0.6 | 強防腐、耐粉塵、排粉好 | 半導體刻蝕 / 去膠、鋰電烘干、光伏 PECVD |
| LS | 標準螺桿干泵 | 120–1200 | 0.1–0.6 | 通用可靠、性價比高 | 普通 CVD、熱處理、包裝吸附 |
| DIS | 渦旋干泵 | 10–60 | 1.0–5.0 | 小型無油、低噪 | 實驗室、小型鍍膜、分析儀器 |
五、行業應用細分（直接對標大晃 MDP）
刻蝕（Etch）、去膠（Ashing）、等離子清洗：MS600A/MS1200A，排粉 + 防腐，適配氟 / 氯系氣體。
晶圓退火、脫氣、CVD：MS120A/MS600A，高真空潔凈排氣。
極片真空烘干、電芯脫氣、電解液脫泡：MS120A/MS600A，耐電解液腐蝕。
電池封裝檢漏、注液系統負壓：MS600A，大抽速快速抽氣。
硅片拉晶、PECVD、AR 鍍膜：MS600A/MS1200A，耐硅塵 + 高真空。
OLED 蒸鍍、玻璃基板鍍膜：MS600A，潔凈無油、低污染。
真空蒸餾、減壓濃縮、溶劑回收：MS120A/MS600A，耐有機溶劑。
醫藥凍干、真空干燥：MS120A，潔凈無油、低噪。
| 工況 | ULVAC MS | Taiko MDP | 選擇建議 |
|---|---|---|---|
| 強腐蝕 + 粉塵（刻蝕 / 去膠） | MS600A | MDP?680 | 腐蝕重選 MS，性價比選 MDP |
| 鋰電烘干 / 脫氣 | MS120A | MDP?535A | 日系工藝選 MS，預算優選 MDP |
| 光伏 PECVD / 拉晶 | MS1200A | MDP?1520 | 大抽速高真空，兩者均可 |
1
化工儀器網