目錄:玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司>>熱賣(mài)日本進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科>>干泵>> GR-60AULVAC 愛(ài)發(fā)科GR系列羅茨干式真空泵
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更新時(shí)間：2026-06-03 19:15:55瀏覽次數(shù)：37評(píng)價(jià)
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| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣 |
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ULVAC 愛(ài)發(fā)科GR系列羅茨干式真空泵
ULVAC 愛(ài)發(fā)科GR系列羅茨干式真空泵
簡(jiǎn)化可靠、成本低
結(jié)構(gòu)比 LR/HR 更簡(jiǎn)潔，通用感應(yīng)電機(jī)，支持多電壓，可選防爆電機(jī)。
轉(zhuǎn)子 / 腔體：標(biāo)準(zhǔn)防腐涂層（DRP），適配潔凈 / 輕度腐蝕氣體，非強(qiáng)酸強(qiáng)堿。
高負(fù)荷耐疲勞
可大氣壓?真空反復(fù)啟停，高壓區(qū)連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定，適合 **Load Lock（裝載腔）** 高通量排氣。
極限真空1–5 Pa，直排大氣無(wú)需前級(jí)泵。
水冷高效、低噪
水冷冷卻，24h 連續(xù)運(yùn)行；標(biāo)配消音器，噪音64–68 dB(A)。
| 型號(hào) | 抽速 (m3/h,50/60Hz) | 極限真空 (Pa) | 電機(jī)功率 (kW) | 重量 (kg) | 吸 / 排口徑 |
|---|---|---|---|---|---|
| GR60A | 62/80 | ≤5.0 | 2.2 | 128 | VG50/NW40 |
| GR90A | 112/126 | ≤5.0 | 3.7 | 188 | VG50/NW40 |
| GR180A | 183/237 | ≤1.0 | 7.5 | 268 | VG80/ISO80/NW40 |
電源：三相 200V/400V，50/60Hz；冷卻水量≥2 L/min。
| 系列 | 類(lèi)型 | 抽速 (m3/h) | 極限真空 (Pa) | 溫度 | 防腐等級(jí) | 核心場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| GR | 經(jīng)濟(jì)型多級(jí)羅茨 | 60–240 | 1.0–5.0 | 常溫 | 標(biāo)準(zhǔn)（潔凈 / 弱腐） | Load Lock、真空干燥、置換 |
| LR | 標(biāo)準(zhǔn)多級(jí)羅茨 | 60–1200 | 0.67–5.0 | 常溫 | 中（輕度腐蝕） | PVD、分子泵前級(jí)、普通 CVD |
| HR | 高溫多級(jí)羅茨 | 60–600 | 0.05–5.0 | 120–150℃ | 高（刻蝕 / 灰化） | 主流 CVD、刻蝕、灰化 |
| UR | 超高溫多級(jí)羅茨 | 400–4500 | 0.005–0.05 | 150–200℃ | ji高（ALD / 重沉積） | ALD、高沉積 CVD、重粉塵刻蝕 |
Load Lock 腔：GR90A/GR180A，晶圓 / 基板快速進(jìn)出，反復(fù)抽氣耐疲勞。
PVD / 蒸鍍：GR180A，濺射 / 蒸鍍前級(jí)，潔凈無(wú)油。
封裝 / 測(cè)試：GR60A/GR90A，真空檢漏、脫氣。
光伏硅片清洗 / 干燥：GR90A/GR180A，潔凈排氣、耐水汽。
鋰電極片脫泡 / 干燥：GR180A，輕度腐蝕、無(wú)油污染。
真空干燥 / 脫泡：GR60A/GR90A，化工、醫(yī)藥、食品。
真空氣體置換：GR90A，惰性氣體填充、熱隔絕。
| 工況 | ULVAC GR | Taiko BEH-L | 選擇建議 |
|---|---|---|---|
| Load Lock 高通量 | GR180A | BEH?900L | GR 性?xún)r(jià)比更高，大晃穩(wěn)定性略?xún)?yōu) |
| 真空干燥 / 置換 | GR90A | BEH?600L | 預(yù)算優(yōu)選 GR，日系標(biāo)準(zhǔn)選 BEH |
| 輕度腐蝕 PVD | GR180A | BEH?1200L | 兩者均可，看售后與價(jià)格 |
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