目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>熱賣日本進口ULVAC愛發科>>干泵>> RDA-501H日本進口愛發科ULVAC 羅茨干式真空泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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日本進口愛發科ULVAC 羅茨干式真空泵
日本進口愛發科ULVAC 羅茨干式真空泵
轉子：一對 8 字形轉子同步反向旋轉，無接觸、無磨損。
抽氣：多級轉子逐級壓縮氣體，無需前級泵，直抽范圍 101325Pa～0.08Pa。
潔凈：泵腔無油，零油污染、零返流。
| 型號 | 有效抽速 | 極限壓力 (關 F.A) | 極限壓力 (開 F.A) | 功率 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|
| RDA-281H/281HA | 280L/min | ≤8×10?2Pa | ≤6Pa | 720W | 38kg |
| RDA-501H/501HA | 500L/min | ≤8×10?2Pa | ≤6Pa | 720W | 約 45kg |
電源：單相 100～115V/200～240V；三相 200～240V。
接口：KF-25/KF-25；尺寸約 180×588×377mm（281HA）。
無油潔凈：無油設計，杜絕油霧 / 返流，適配半導體、鍍膜、分析儀器等高潔凈場景。
寬域運行：大氣壓直抽，一泵覆蓋粗～高真空，無需前級泵，簡化系統。
耐水汽強：吸水汽量 300g/h，適配潮濕工藝（如凍干、鍍膜）。
免冷卻水：空冷設計，安裝靈活、運維簡單。
長壽命低維護：無滑動摩擦件，壽命長，僅需定期檢查進氣過濾。
緊湊高效：小體積大抽速，易集成到設備內部。
半導體 / 面板：PVD 鍍膜、蝕刻、沉積設備前級泵。
分析儀器：質譜、氦檢漏儀、電子顯微鏡真空源。
鍍膜 / 光學：真空鍍膜、濺射、蒸鍍的潔凈抽氣。
通用工業：氣體回收、真空包裝、渦輪分子泵前級。
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