日本進口ULVAC愛發科 油旋片真空泵
日本進口ULVAC愛發科 油旋片真空泵

一、工作原理

電機通過磁力耦合器驅動轉子（無機械軸封，杜絕漏油），轉子帶動旋片旋轉，雙級泵腔串聯，泵油負責密封、潤滑、冷卻，實現高真空；內置防返流閥，停泵自動阻斷油液倒灌。

二、核心型號與參數（50Hz）

型號       抽速 (L/min)  極限真空 (Pa，關氣鎮)   極限真空 (Pa，開氣鎮)   功率       油量

Gv135   135                0.5                                 5                                  0.4kW      0.7L

Gv200   200                 0.5                                5                                 0.55kW     1.0L

三、系列核心特點

1. 磁耦合無泄漏：無機械軸封，零漏油風險，潔凈室 / 分析儀器**。

2. 雙級高真空：極限真空0.5Pa（關氣鎮），遠優于單級干泵，適配高真空需求。

3. 超低噪音：運行噪音低至 46dB，適合實驗室、辦公室等安靜環境。

4. 防油返流：內置進氣止回閥 + 油霧分離器，停泵無油倒灌，保護精密設備。

5. 結構緊湊易維護：風冷直驅，體積小；旋片 / 油更換簡單，維護成本低。

6. 氣鎮功能：可抽少量水汽，適配含水汽的輕量工況。

四、典型應用

• 分析儀器：XRD、XRF、TEM、SEM、質譜儀（高真**級泵）

• 實驗室：真空干燥、濃縮、脫氣、蒸餾、精密過濾

• 半導體 / 電子：晶圓檢測、真空封裝、等離子設備前級

• 醫療：精密負壓設備、分析儀器、無菌包裝

• 其他：鍍膜預抽、檢漏設備、科研儀器配套

五、選型與保養要點

選型

• 中小抽速 + 高潔凈：選Gv135

• 大抽速 + 高真空：選Gv200

• 精密儀器 / 實驗室：優先 Gv（磁耦合 + 低噪 + 防返流）

保養

• 易損件：旋片、密封圈、油霧分離器（周期約 3000–5000 小時）

• 專用油：SMR-100（不可混用普通油）

• 嚴禁抽：大量粉塵、腐蝕性氣體、高濃度有機溶劑

• 環境：溫度 5–40℃，通風良好