DIC迪愛生 高效率脫氣脫氣供氣模組
DIC迪愛生 高效率脫氣脫氣供氣模組

一、基礎(chǔ)信息品牌：DIC 迪愛生（日本）

DIC SEPAREL DF 系列（溶劑 / 藥液專用?緊湊型全氟脫氣模組）

DF=PF?F 系列，是 DIC 半導(dǎo)體光刻膠、蝕刻液、剝離液、CMP 研磨液專用緊湊型 PTFE 中空纖維脫氣模組，全氟接液、無金屬析出、ppb 級脫氣，比 PF?D 系列耐化學(xué)更強、流量更大，半導(dǎo)體機臺標配款。

一、核心定位 & 結(jié)構(gòu)

• 膜材：PTFE 聚四氟乙烯中空纖維，接液部全氟樹脂

• 流向：內(nèi)部灌流式（液體走纖維內(nèi)，真空抽外側(cè)），可反向清洗

• 功能：脫氣（除 O?/CO?）+ 供氣（溶解 N?）兩用

• 優(yōu)勢：耐強酸強堿、有機溶劑，無離子污染，適配優(yōu)良制程

二、主流型號 + 參數(shù)（半導(dǎo)體*常用）

型號	流量 (mL/min)	尺寸 (mm)	耐壓	用途
PF?03F(DF?03)	1?100	φ102×180	0.294MPa	微型光刻膠、小流量藥液
PF?05F(DF?05)	1?100	φ102×180	0.294MPa	標準緊湊型爆款
PF?10F(DF?10)	1?200	φ102×260	0.294MPa	中流量 CMP、批量清洗
PF?13F(DF?13)	1?300	φ102×260	0.294MPa	大流量藥液脫氣
PF?28F(DF?28)	1?500	φ102×440	0.294MPa	產(chǎn)線主路大流量

DF（PF?F）系列外觀

整體為白色氟塑料圓柱形緊湊型，接口為 1/4 超級螺紋，真空口 Rc1/8，體積小巧可直接裝半導(dǎo)體機臺管路

• 外殼：白色全氟材質(zhì)，耐腐蝕

• 標簽：DIC SEPAREL 原裝標識

• 尺寸：直徑統(tǒng)一 102mm，長度隨流量變化

產(chǎn)品類型：PTFE 聚四氟乙烯折疊式精密過濾芯（5 英寸）
定位：半導(dǎo)體、面板、電子化學(xué)品、光刻藥液、超純水終端**過濾，耐強酸強堿、有機溶劑，適配 HF、HCl、蝕刻液、剝離液等高腐蝕精密工藝，0.2μm **級**精度
二、型號含義
DF：DIC Fluorine filter，氟樹脂（PTFE）精密折疊濾芯系列
05：濾芯長度 5 英寸（小型標準款，適配小型過濾器殼體）
0.2μm：**過濾精度 0.2 微米，可截留**、微顆粒、膠體雜質(zhì)，實現(xiàn)**過濾
三、核心結(jié)構(gòu)與優(yōu)勢
全 PTFE 接液材質(zhì)：濾膜、支撐骨架、端蓋、密封圈全部為聚四氟乙烯，耐HF、鹽酸 HCl、強酸強堿、有機溶劑、光刻膠、IPA，化學(xué)兼容性強
折疊式結(jié)構(gòu)：超大過濾面積、低壓損、大通量，納污能力優(yōu)異，使用壽命長熱熔焊接工藝：無粘合劑、無析出、無纖維脫落，滿足半導(dǎo)體超高純潔凈要求疏水型 PTFE 膜：可用于液體 + 氣體雙向過濾，適配藥液、超純水、高純氣體出廠 100% 完整性測試，精度穩(wěn)定，適配 24h 連續(xù)精密工藝
四、接液部材質(zhì)
濾膜：疏水 PTFE 聚四氟乙烯膜
支撐層 / 中心桿 / 外殼：PTFE密封圈：FFKM 全氟橡膠（耐全化學(xué)品腐蝕）接口：226/222 插入式，適配標準小型濾殼
五、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)
過濾精度：**精度 0.2μm（**級）長度：5 英寸*大工作壓力：0.4 MPa工作溫度：5–80 ℃適用流體：液體 / 氣體通用,可耐受：HF、HCl、H?SO?、NaOH、有機溶劑、光刻藥液、超純水

·

六、適用介質(zhì)
超純水、、鹽酸、蝕刻液、顯影液、剝離液、光刻膠、IPA 異丙醇、各類強腐蝕電子化學(xué)品、高純工藝氣體
七、典型應(yīng)用
半導(dǎo)體 / SiC 第三代半導(dǎo)體 HF/HCl 蝕刻藥液終端過濾、**除顆粒面板行業(yè)光刻膠、涂布液、精密化學(xué)品精密過濾超純水系統(tǒng)終端**、氣體管路雜質(zhì)過濾小型化學(xué)供液系統(tǒng)、實驗室精密藥液過濾