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日本進口DIC迪愛生 緊湊型中空纖維脫氣模組
日本進口DIC迪愛生 緊湊型中空纖維脫氣模組
膜絲:PP 聚丙烯中空纖維
外殼:PP 材質,米白色圓柱形
功能:真空脫氣(除 O?、CO?),可做微氣泡去除
可反洗、耐純水、弱酸堿,不能用于有機溶劑 / 強腐蝕藥液
脫氣能力:DO 可穩定至 10ppb 級別
流量:1~100 mL/min
尺寸:小型圓柱,機臺內置
用途:單點超純水、小型清洗機、實驗室設備
流量:0.1~30 L/h
體積*小,適合微型設備、管路內嵌
EF?030:30 L/h 級
EF?120U:120 L/h 級
用途:產線支路、批量晶圓清洗純水回路
整體:米白色圓柱形緊湊模組
接口:標準快插 / 螺紋,適配半導體純水管路
體積小巧,安裝在設備機架、純水支管內
半導體超純水 UPW 脫氧脫碳
晶圓超聲波清洗水、漂洗水
鍋爐純水、循環冷卻水
真空泵配套純水系統
EF 系列:PP 膜 → 純水、清洗水專用
PF?D 系列:PTFE → 普通藥液、光刻膠
DF(PF?F)系列:全氟 → 強腐蝕溶劑、大流量**藥液