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| 供貨周期 | 兩周 |
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日本進口DIC迪愛生 緊湊型中空纖維脫氣模組
日本進口DIC迪愛生 緊湊型中空纖維脫氣模組
膜材質：PTFE 中空纖維（全氟材質）
接液部：全氟樹脂，無金屬析出、無離子污染
功能：真空脫氣（除 O?/CO?）+ 供氣（溶解 N?）兩用
耐化學：耐酸堿、醇類、酮類、光刻膠、剝離液、顯影液
不可用于純水長期使用（純水優先 EF 系列）
PF?004D：流量 1–100 mL/min，*小款，光刻膠、單點藥液
PF?010D：10–200 mL/min，中流量藥液、CMP 支路
外殼：多為不銹鋼 / 氟塑，體積小巧
外殼：白色全氟塑料，耐溶劑更強
流量更大，適合產線主回路、批量制程
| 型號 | 流量 | 適用場景 |
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| PF?004D | 1–100 mL/min | 光刻膠、顯影液、小流量藥液 |
| PF?010D | 10–200 mL/min | CMP 研磨液、蝕刻液 |
| PF?05F(DF?05) | 1–100 mL/min | 強溶劑、剝離液、**藥液 |
| PF?10F(DF?10) | 1–200 mL/min | 中流量產線藥液 |
PF?D：不銹鋼外殼小型圓柱，精密接頭
PF?F(DF)：白色全氟外殼，尺寸更長
均帶：液體進出嘴 + 真空抽氣口
EF 系列：PP 膜 → 純水、超純水
PF?D 系列：PTFE 不銹鋼 → 普通藥液、小流量
PF?F (DF) 系列：PTFE 全氟 → 強腐蝕溶劑、大流量**藥液
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