日本樫山工業(yè)Kashiyama 無(wú)油羅茨干式真空泵
日本樫山工業(yè)Kashiyama 無(wú)油羅茨干式真空泵

一、核心特點(diǎn)

• 純風(fēng)冷，免冷卻水：無(wú)需外接水系統(tǒng)，插電即用，部署靈活，適合移動(dòng)與多工位場(chǎng)景。

• wan全無(wú)油，高潔凈：無(wú)油潤(rùn)滑，達(dá) Class 1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，杜絕油蒸汽污染，適配半導(dǎo)體、分析儀器、醫(yī)藥等嚴(yán)苛環(huán)境。

• 多級(jí)羅茨，非接觸轉(zhuǎn)子：雙級(jí) / 多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)，轉(zhuǎn)子無(wú)接觸、無(wú)磨損粉，壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定性好。

• 長(zhǎng)維護(hù)周期：空氣 / 氮?dú)夤r下標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)間隔 3 年（部分型號(hào)可達(dá) 6 年），顯著降低停機(jī)與維保成本。

• 強(qiáng)蒸汽處理：內(nèi)置高效氣鎮(zhèn)，可處理水蒸氣與常見(jiàn)溶劑蒸汽，適合含水汽制程。

• 低噪低振，便攜緊湊：噪音低至55dB(A)，振動(dòng)≤8μm；小型機(jī)重 19–25kg，帶提手，易安裝替換。

二、主要型號(hào)與技術(shù)參數(shù)

三、典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 科研與潔凈實(shí)驗(yàn)室：質(zhì)譜、SEM、蒸鍍、凍干、惰性氣體置換、無(wú)油真空環(huán)境。

• 半導(dǎo)體與電子：小型封裝、測(cè)試、真空焊接、晶圓處理（中低真空段）。

• 醫(yī)藥與化工：溶劑脫除、蒸餾、濃縮、反應(yīng)釜真空、潔凈輸送。

• 通用工業(yè)：真空吸附、搬運(yùn)、成型、包裝、中小規(guī)模中央真空系統(tǒng)。

四、優(yōu)勢(shì)對(duì)比（傳統(tǒng)油泵 / 水冷干泵）

• 對(duì)比油旋片泵：無(wú)油污染、免換油、無(wú)油煙，維護(hù)周期延長(zhǎng) 5–10 倍。

• 對(duì)比水冷干泵：無(wú)需冷卻水系統(tǒng)，安裝成本低、無(wú)結(jié)垢 / 凍裂風(fēng)險(xiǎn)，適合缺水或戶外場(chǎng)景。

• 對(duì)比渦旋干泵：無(wú)密封件磨損、無(wú)性能衰減、無(wú)粉塵產(chǎn)生，長(zhǎng)期穩(wěn)定性更優(yōu)。

五、選型要點(diǎn)

1. 抽速匹配：按腔體容積、抽氣時(shí)間與漏率選擇，優(yōu)先 15E/30E 用于常規(guī)實(shí)驗(yàn)室。

2. 極限壓力：普通真空（1–10Pa）選 7E/15E；高真空（≤0.3Pa）選 36E 及以上。

3. 蒸汽負(fù)載：含水汽 / 溶劑時(shí)，必選帶氣鎮(zhèn)型號(hào)，必要時(shí)加冷阱。

4. 電源適配：小型機(jī)單相 AC100–240V，大中型機(jī)三相 AC200–240V，50/60Hz 通用