目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>Kashiyama樫山工業>>羅茨干泵>> SDE 120TX進口樫山工業Kashiyama 大型羅茨干式真空泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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進口樫山工業Kashiyama 大型羅茨干式真空泵
進口樫山工業Kashiyama 大型羅茨干式真空泵
高真空 + 寬抽速：抽速覆蓋1,300–20,000 L/min，極限壓力低至0.5 Pa，兼顧中高真空與大流量需求。
水冷螺桿 + 高耐久：立式螺桿轉子（非接觸），水冷散熱；轉子 / 腔體采用不銹鋼 / 陶瓷涂層，耐酸堿與粉塵，適合嚴苛制程。
wan全無油 + 高潔凈：無油設計，無油蒸汽污染，滿足半導體 / 醫藥高潔凈標準。
節能 + 智能控制：標配變頻（VFD），能耗比傳統干泵低30%–50%；支持 Modbus / 以太網通訊，遠程監控與自診斷。
長維護周期：標準工況維護間隔4–5 年，低于 SDL 但高于 E 系列，適配連續生產。
強蒸汽 / 溶劑處理：內置氣鎮 + 耐腐蝕材質，可處理水蒸氣、IPA、丙酮及酸堿氣體（如 HCl、Cl?）。
| 型號 | *大抽速 (L/min) | 極限壓力 (Pa) | 功率 (kW) | 重量 (kg) | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|
| SDE90X | 1,300 | 1.3 | 1.3 | 210 | 3φ 200–480V |
| SDE120TX | 1,500 | 1.3 | 2.8 | 230 | 3φ 200–480V |
| SDE200 | 3,300 | 1.3 | 2.7 | 280 | 3φ 200–480V |
| SDE303X/TX | 5,000 | 0.5 | 1.5/3.0 | 350 | 3φ 200–480V |
| SDE603X/TX | 10,000 | 0.5 | 1.6/3.1 | 480 | 3φ 200–480V |
| SDE1203TX | 20,000 | 0.5 | 2.0/3.2 | 620 | 3φ 200–480V |
| 注：數據為 N?吹掃未使用時的標準值。 |
半導體制造：200–300mm 晶圓刻蝕、CVD、PVD、ALD、真空焊接、測試 / 封裝。
FPD / 光伏：LCD/OLED 面板、太陽能電池板的鍍膜、刻蝕、清洗、干燥制程。
工業真空：中型中央真空系統、真空熱處理、真空浸漬、中型腔體高速抽氣。
科研 / **制造：中型真空艙、航天模擬、高能物理、質譜 / SEM 聯用（高真空端）。
| 對比項 | NeoDry E 系列 | SDE 系列 | SDL 系列 |
|---|---|---|---|
| 定位 | 小型風冷干泵（實驗室 / 小工業） | 中型水冷干泵（半導體 / 中工業） | 大型風冷干泵（半導體 / 大工業） |
| 抽速 | 110–5,000 L/min | 1,300–20,000 L/min | 25,000–60,000 L/min |
| 極限壓力 | 0.3–5.0 Pa | 0.5–1.3 Pa | 0.8 Pa |
| 冷卻方式 | 風冷 | 水冷 | 風冷 |
| 重量 | 19–125 kg | 210–620 kg | 645–950 kg |
| 維護周期 | 3–6 年 | 4–5 年 | 6 年 |
| 耐腐蝕性 | 標準 | 強（涂層） | 標準 |
抽速匹配：中大型腔體（100–500L）優先 SDE303X/603X；小型腔體選 E 系列，超大腔體選 SDL。
極限壓力：高真空（≤1Pa）選 SDE/SDL；普通真空（1–10Pa）可選 E 系列。
蒸汽 / 腐蝕負載：含水汽 / 酸堿氣體必選 SDE（耐腐蝕涂層），必要時加冷阱。
冷卻條件：有水冷選 SDE；無水冷 / 移動場景選 E/SDL。
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