日本進口大阪真空Osaka Vacuum 渦輪分子泵
日本進口大阪真空Osaka Vacuum 渦輪分子泵

大阪真空（Osaka Vacuum）TG?F 系列渦輪分子泵 

一、產品概述

TG?F 系列是大阪真空（Osaka Vacuum）脂潤滑滾珠軸承型渦輪分子泵，自1999年上市以來為經典主力機型，排氣速度覆蓋 50～2400 L/s，主打緊湊堅固、任意安裝、耐大氣沖擊、免維護，適配可搬式設備與振動/移動工況，廣泛用于光學、顯示、半導體、理化儀器、能源、醫療等領域。

核心定位

•                      軸承類型：脂潤滑滾珠軸承（區別于磁懸浮/油潤滑）

•                      結構特點：一體化轉子+上下滾珠軸承+冷卻流道，抗沖擊、低振動

•                      運行模式：高轉速、高真空、寬壓力區間（10?1～10?? Pa）

二、核心特性

1. 安裝自由度

任意姿態安裝：垂直、水平、倒立均可運行，無方向限制，適配復雜管路與移動設備。

2. 耐沖擊與可靠性

•                      耐大氣沖擊：強化轉子/軸承結構，可承受400次以上連續大氣沖入，適配頻繁啟停、腔體開門/維修場景。

•                      長壽命免維護：無需補充潤滑脂，大修周期2～3萬小時，設計壽命＞10萬小時，支持24/7連續運行。

•                      緊湊輕量化：同級別重量比磁懸浮泵輕30%+，適合空間受限與移動設備。

3. 性能優勢

•                      高排氣速度+高壓縮比：N?*高2400 L/s，H?*高1300 L/s；N?壓縮比1×10?，H?達4.3×103。

•                      快速啟停：啟動時間5.5～9 min，停機時間12～32 min（依型號）。

•                      低基礎壓力：極限真空＜1×10?? Pa（7.5×10?? Torr）。

4. 兼容性與適配性

•                      氣體適配：標準型支持N?、Ar、H?等惰性/常規氣體；腐蝕性氣體可選TG?M/TG化學兼容系列。

•                      冷卻方式：風冷（A）/水冷（W）可選，水冷適配高負載/高溫環境。

•                      法蘭規格：VG、ISO?B、CF 三種標準法蘭，適配主流真空接口。

5. 控制器與通訊

•                      專用控制器：TC1103/TC1104，集成驅動、保護、顯示功能。

•                      通訊接口：標配RS232C，支持遠程監控與參數配置。

•                      **認證：CE、SEMI?S2、NRTL，符合工業**標準。