日本進口大阪真空Osaka Vacuum渦輪分子泵
日本進口大阪真空Osaka Vacuum渦輪分子泵

一、產品概述

核心定位

• 軸承類型：磁懸浮軸承（無接觸、無油潤滑，區別于 TG?F/TG?M 系列脂潤滑軸承）

• 結構特點：復合渦輪 + 牽引級結構、磁懸浮轉子系統、內置控制器、耐腐蝕腔體涂層、高效冷卻流道

• 運行模式：高轉速、高真空、大流量區間（10?1～10?? Pa），適配惰性 / 腐蝕性 / 大流量氣體介質

二、核心特性

1. 無油清潔真空（磁懸浮核心優勢）

2. 超高排氣性能與大流量能力

• 排氣速度：N?*高 3400 L/s，H?*高 2700 L/s，大流量工況下抽速穩定；

• 壓縮比：N?＞1×10?，H?達 3×103，強壓縮比適配輕氣體（H?/He）高效抽排；

• 極限真空：＜2×10?? Pa（1.5×10?? Torr），超高真空穩定性優異；

• 大氣體流量：N?*大 2600 sccm，適配 CVD、刻蝕等大流量工藝。

3. 耐腐蝕性與長壽命設計

• 腔體與轉子：耐腐合金 + PTFE 涂層，兼容 Cl?、HF、HBr、NF?等半導體腐蝕性工藝氣體；

• 磁懸浮系統：無機械磨損，設計壽命＞20 萬小時，大修周期 5～8 萬小時，支持 24/7 連續運行；

• 抗沖擊能力：強化磁懸浮控制算法，可承受500 次以上大氣沖入，適配頻繁開門 / 維修場景。

4. 智能集成與便捷運維

• 控制器一體設計：泵體集成驅動 / 控制單元，無需外接控制器，節省安裝空間，支持參數自動存儲與數據遷移（更換控制器不丟數據）；

• 多重通訊：標配 EtherCAT/RS232C/DI?DO，兼容工業總線，支持遠程監控、參數配置與故障診斷；

• 智能預警：內置振動 / 溫度 / 轉速傳感器，實時監測運行狀態，提前預警軸承異常、過熱、過載，降低停機風險。

5. 安裝自由度與緊湊輕量化

• 任意姿態安裝：垂直、水平、倒立均可穩定運行，無方向限制，適配復雜管路與設備集成；

• 緊湊輕量化：同級別磁懸浮泵中體積*小、重量*輕（64～65 kg），節省設備空間，適配可搬式與移動工況。

6. 節能與**認證

• 省電設計：磁懸浮低功耗驅動，比傳統分子泵節能 30%+，長期運行成本低；

• **認證：CE、SEMI?S2、NRTL，符合半導體工業**標準，適配高危腐蝕與高壓工藝環境。