日本進口EBARA荏原羅茨型干泵
日本進口EBARA荏原羅茨型干泵

EBARA荏原EV-X型干式真空泵

一、系列概述

EBARA荏原EV-X系列干式真空泵，是日本荏原（EBARA）旗下核心工業級無油真空設備，采用多級羅茨嚙合旋轉結構，屬于干式無油真空泵，全程無油、無接觸嚙合，無需潤滑油潤滑，從根源上杜絕油污染，契合半導體、光伏、鋰電池、制藥、化工等對潔凈度要求高的行業需求。該系列核心作用是直接抽取氣體，實現系統高真空環境，無需搭配前級泵即可獨立運行，憑借空冷節能、高水蒸氣耐受性、低振動低噪音、維護簡便的優勢，廣泛應用于半導體制造（CVD、PECVD、蝕刻工藝）、太陽能電池片生產、鋰電池制造（脫氣、封裝）、化工蒸餾和干燥、制藥凍干、實驗室精密真空等多種工業場景，其中EV-X50為小型機型，EV-X100為中型機型，EV-X200為中大型機型，可根據工況流量需求靈活選型。

EV-X系列整體采用高效節能電機，適配潔凈環境與含微量腐蝕、可凝蒸汽的工況，部分型號支持氮氣吹掃、防腐材質升級，滿足復雜工況處理需求，其轉子與泵腔無接觸摩擦，磨損小、使用壽命長，維護便捷，且整機結構緊湊、占地小，搭載智能監控與故障診斷系統，自動化程度高，是現代工業潔凈真空系統的核心配套設備，在半導體和光伏制造領域的真空設備供應中占據重要位置。

二、全型號核心參數速查（50Hz 工頻，標準工況）

注：1. 60Hz工況下，抽速提升約20%，適配海外電壓（208-230V/460V），電壓 tolerance±10%，50/60Hz雙頻自適應；2. 全系列標配三相異步電機，可定制防爆電機（Exd II BT4），適配易燃易爆工況；3. 極限真空為常溫、潔凈空氣搭配標配氣鎮工況下測試值，無需搭配前級泵，單獨運行即可達到該真空度；4. EV-X200水冷版本需確保冷卻系統正常工作，避免泵體過熱；5. 電機均配備過熱、過載、缺相保護，符合IEC 34-11標準，運行**可靠；6. 全系列具備高水蒸氣耐受性，適配含可凝蒸汽的工況，部分型號可加裝氮氣吹掃裝置。