華南代理TORAY東麗氧化鋯氧濃度計

華南代理TORAY東麗氧化鋯氧濃度計

TORAY東麗氧化鋯氧濃度計LD-600的核心測量原理基于氧化鋯濃差電池式傳感器與能斯特方程，屬于一類在高溫下工作的固態電化學傳感器。

一、氧化鋯傳感器的結構與特性

LD-600的核心傳感元件是在氧化鋯陶瓷基體兩面加工出多孔性鉑電極。氧化鋯陶瓷是一種在高溫下具有氧離子空穴的固體電解質。當溫度升高至約600℃以上時，氧化鋯晶格中的氧離子獲得足夠能量，可以在空穴間遷移，表現出氧離子導電特性。

二、濃差電池的形成與電動勢產生

傳感器內部封入已知氧濃度的基準氣體（通常為空氣），外部接觸被測氣體。當氧化鋯陶瓷兩側存在氧分壓差時，氧離子會從高分壓側（基準氣體側）通過氧化鋯固體電解質向低分壓側（被測氣體側）遷移。這一過程導致一側電極的氧分子電離為氧離子，另一側電極的氧離子則還原為氧分子。隨著氧離子的定向遷移，兩電極間積累電荷，形成電勢差，即濃差電動勢（EMF）。

三、能斯特方程與濃度計算

該電動勢的大小與兩側氧分壓的對數差成正比，嚴格遵循能斯特方程。LD-600的轉換器精確測量這一電動勢信號，代入能斯特方程即可計算出被測氣體中的氧濃度值。由于氧化鋯傳感器能夠獲得與能斯特方程高度吻合的穩定電動勢，即使在極低氧濃度下也能實現高精度測量。

四、技術實現特點

LD-600采用傳感器與轉換器分離式設計，傳感器直接插入測量點（支持真空環境直插），轉換器負責信號處理與EtherCAT通信。傳感器內置加熱器以維持氧化鋯元件的工作溫度，并配備氧傳感器保護機制以提升耐用性。測量范圍覆蓋從0.001ppm級微量氧到100%常量氧，響應時間（T90）可達5秒以內。

這款采用 EtherCAT 通信的氧濃度計 LD-600/SD 傳感器專為包括真空設備在內的各種設備而開發，它充分利用了我們在半導體和電子行業氧濃度計制造方面積累的豐富經驗。該產品
采用我們專有的緊湊型氧化鋯傳感器，可實現長時間穩定、高精度的測量，并內置氧傳感器保護機制，使其耐用性遠超傳統產品。此外，其氧傳感器與轉換單元分離的設計，使其成為集成到需要更快處理速度的設備和應用中的理想之選。

設備規格