代理OTSUKA大塚電子光波動場三次元顯微鏡

代理OTSUKA大塚電子光波動場三次元顯微鏡

MINUK可評價nｍ級的透明的異物?缺陷，一次拍照即可瞬時獲得深度方向的信息，可非破壞?非接觸?非侵入的進行測量。且無需對焦，可在任意的面進行高速掃描,輕松決定測量位置。

大塚光波動場三次元顯微鏡MINUK的核心原理，是直接捕捉與分析光波的“波面"（即光的振幅與相位所構(gòu)成的三維場）。測量時，設(shè)備向樣品照射638nm波長的激光。當激光穿過透明或半透明樣品時，會因樣品內(nèi)部厚度與折射率的變化而導(dǎo)致光波波面發(fā)生改變。這一變化被高精度波前傳感器捕捉，隨后由大塚電子的軟件進行數(shù)值解析，并重新構(gòu)建出樣品的三維圖像。

由于無需經(jīng)過成像光學(xué)系統(tǒng)，MINUK從根本上避免了傳統(tǒng)透鏡帶來的像差問題。它能夠在單次拍照（最短記錄時間小于1毫秒）的瞬間，同時獲取樣品XY平面（700×700μm視野）與Z軸深度方向（最深1400μm）的全部信息，并以約2μm的軸向分辨率生成約700張切片圖像

規(guī)格

測量案例

將肉眼無法看見的透明薄膜表面可視化?定量化

可以非接觸、非破壞性、非侵入性地獲得nm級的形狀信息。通過一次拍照即可獲取深度方向的信息，可以將透明薄膜表面上肉眼不可見的劃痕和缺陷的橫截面形狀數(shù)值化實現(xiàn)可視化。

觀察透明薄膜內(nèi)部的填充劑

肉眼無法看到的透明薄膜內(nèi)部的填充劑，通過一次拍照即可觀察到。此外，通過在測量后改變深度方向的焦點，可以識別到各個深度的填充劑。