INNODIS一諾迪思 ?IF95 氣動 PFA 隔膜閥
INNODIS一諾迪思 ?IF95 氣動 PFA 隔膜閥

核心參數與特性

1. 材質

閥體 / 膜片：高純 PFA+PTFE 隔膜，無金屬內襯，杜絕離子析出，適配超高純工藝流體

執行氣缸：工程塑料 + 防腐結構，氣缸內置彈簧復位

2. 工況條件

工作壓力：常規 0~0.6MPa

使用溫度：0~80℃（PFA 標準耐溫區間）

驅動氣源：標準 0.4~0.6MPa 壓縮空氣

3. 接口規格

IF95 對應管路快插外徑F5 規格，適配對應外徑 PFA 軟管，屬于該系列大流量隔膜閥型號。

4. 控制方式

純氣動二位式開關閥，僅通斷介質管路，不帶比例調節；如需流量調節需搭配 IMT/IME 等帶定位器型號。

主要應用場景

半導體晶圓制程、刻蝕 / 清洗藥液輸送

LCD/OLED 面板產線超純水、化學試劑管路

制藥生物行業無菌高純流體管路

光伏鋰電腐蝕液、電鍍藥液管路自控開關

整體結構組成

閥門分為上下兩大總成：

下部過流閥體總成（接觸介質）

PFA 一體注塑閥體 +PTFE 雙層復合隔膜片，無填料密封結構，隔膜隔離介質與上部氣缸，杜絕外漏、介質污染氣動執行機構；閥腔流道平滑，不易積液結晶。

上部氣動執行氣缸總成

防腐工程塑料氣缸殼體、內置不銹鋼復位彈簧、活塞密封組件；單氣控驅動，單路氣源即可完成啟閉，無需雙氣源。