INNODIS一諾迪思 ?IF35 玻璃管流量計
INNODIS一諾迪思 ?IF35 玻璃管流量計

三大材質版本技術參數明細

版本 1：IF35-A 鋁合金經濟型

接觸介質部件：鋁合金本體 + 316L 不銹鋼浮子

適配介質：壓縮空氣、氮氣、冷卻水、純水、弱堿性廢水

嚴禁使用： HF、濃硝酸、強氧化性蝕刻液、濃強堿

長期工作溫度：0~60℃

額定最高工作壓力：0.6MPa（6bar）

測量精度：±4% FS 工業級就地觀測精度

版本 2：IF35-S 全 316 不銹鋼款

整條過流通路全部 SUS316 不銹鋼，耐受一般酸堿、電鍍廢液、低腐蝕有機溶劑

使用溫度：0~70℃

承壓上限：≤0.6MPa

版本 3：IF35-P PFA 全氟防腐高純款（電子行業核心選型）

管路內壁一體 PFA 襯里，浮子為 PTFE 聚四氟乙烯，無任何金屬接觸工藝流體

可兼容介質：鹽酸、硝酸、氨水、TMAH 顯影液、剝離液、各類蝕刻藥液、超純水

金屬離子析出極低，符合 SEMI 超純管路潔凈規范，不會污染晶圓與面板生產良率

允許介質溫度：0~80℃

系統承壓范圍：0~0.6MPa

定流量量程（常溫常壓水 / 空氣標定）

液體（水介質）超微量量程

0.02~0.2 L/min、0.05~0.5 L/min、0.1~1 L/min

氣體（空氣介質）微量量程

0.2~2 L/min、0.5~5 L/min、1~8 L/min