INNODIS ?IMVD-F19mCF4-V1 反饋氣動隔膜閥
INNODIS ?IMVD-F19mCF4-V1 反饋氣動隔膜閥

核心材質明細與耐化學、耐溫參數

1. 介質浸潤部件（直接接觸流體）

閥體：高純 PFA（m 后綴）

長期工作溫度：0～80℃，瞬時峰值 100℃；

耐受介質： HF、硝酸、鹽酸、氨水、TMAH 顯影液、剝離液、各類蝕刻液、超純水、絕大多數有機溶劑，符合 SEMI 超純管路潔凈標準，重金屬離子析出極低。

隔膜片：改性 PTFE 復合隔膜，標準往復使用壽命≥300 萬次，可單獨拆裝更換備件。

PVDF 版本（i 后綴）：耐溫 0~60℃，嚴禁氟化腐蝕介質，多用于普通酸堿廢水管路。

2. 非接觸介質外部零件

氣缸殼體：玻纖增強改性 PP；復位彈簧：SUS316 不銹鋼；氣源密封：耐老化 NBR；

V1 信號開關：防水微動觸點，耐機臺水汽與輕微腐蝕。

標準工況技術參數

流體管路側

額定最大工作壓力：0～0.6MPa（6bar）

支持雙向正反管路承壓安裝，閥體不分進出口；

密封等級：VI 級零泄漏，關閉狀態無內滲滴漏；

流通流量：大流量規格，與 IF95 直通閥通流能力一致。

氣動驅動控制側

推薦驅動氣源：0.4～0.6MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣；

氣源接口：氣缸側面 Φ4 氣動快插接頭，直插氣管即可；

啟閉響應：進氣開閥≤0.3s，斷氣彈簧復位關閥≤0.5s；

默認控制邏輯：NC 常閉（通氣開閥，斷氣自動關閥），可定制 NO 常開版本。

V1 信號反饋電氣參數

輸出形式：無源機械觸點（常開 / 常閉可選）；

觸點額定負載：DC24V 0.5A，可直接接入 PLC 數字量輸入模塊；

反饋邏輯：閥門全開觸發一路信號，全關觸發另一路信號，精準回傳閥位狀態。