INNODIS ?IMVD-F10mCF4-V1 二通開關隔膜閥
INNODIS ?IMVD-F10mCF4-V1 二通開關隔膜閥

整體模塊化結構組成

整閥分為下閥體過流組件、PTFE 隔膜密封單元、上部氣動氣缸 + V1 閥位反饋模塊三大部分：

下部 PFA 一體注塑閥體

內腔流線、滯留容積極小，藥液殘液極易排空，間歇啟停工況不易結晶堵塞；全程無金屬件侵入流體，杜絕離子析出污染制程藥液。

隔膜總成

雙層復合膨體 PTFE 隔膜，隔離工藝介質與上部氣動氣缸，無填料外漏結構，杜絕介質滲漏污染氣源與設備；隔膜可單獨拆裝更換備件，無需整體報廢閥體。

氣動驅動氣缸

玻纖增強防腐 PP 殼體、SUS316 不銹鋼復位彈簧，單路氣源即可完成啟閉動作，無需雙氣路，搭配二位五通電磁閥即可接入自動化控制系統，氣路布線簡潔。

V1 專屬閥位反饋機構

氣缸側邊集成防水防腐微型微動開關，閥門開啟、閉合兩個極限位置分別觸發一組無源觸點信號，無需外接供電，直接接入 PLC 數字量輸入模塊，實現工藝程序聯鎖、異常報錯提醒。

材質明細與耐溫、耐化學腐蝕性能

1、介質浸潤核心部件（直接接觸流體）

PFA 閥體（后綴 m，本型號標配）

長期連續使用溫度：0～80℃，瞬時短時峰值耐溫 100℃

兼容介質： HF、硝酸、鹽酸、氨水、TMAH 顯影液、剝離液、各類蝕刻藥液、一級超純水、絕大多數有機溶劑；金屬離子析出極低，符合 SEMI 超純管路潔凈規范，不會污染晶圓、面板精密制程良率。

PVDF 閥體（后綴 i，經濟型選配）

長期工作溫度：0～60℃

使用硬性限制：不可接觸、氟化類強腐蝕介質，僅適用于常規弱酸弱堿、電鍍廢水、普通化工廢液管路，采購成本更低。

PTFE 隔膜片

改性彈性復合四氟隔膜，標準往復開關使用壽命≥300 萬次，抗疲勞抗撕裂，無碎屑脫落污染介質；支持單獨采購原廠備件替換，維保成本大幅降低。

2、非接觸介質外部零部件

氣缸外殼：玻纖改性聚丙烯；復位彈簧：SUS316 不銹鋼；氣源密封件：耐壓縮空氣老化 NBR 橡膠；

V1 反饋微動開關：防水汽防腐觸點結構，適配機臺潮濕、輕微腐蝕環境。