OHKURA大倉 MF1151B 氣體質量控制器
OHKURA大倉 MF1151B 氣體質量控制器

MF1100B系列是一款高性能、低成本的質量流量計和質量流量控制器。它具有15個流量范圍，從5 SCCM到20 SLM，可輕松應用于從分析到工業的各種領域。

核心規格與參數

1. 流量量程可選

覆蓋 15 檔標準量程：5SCCM ~ 20SLM，常用規格：0.2~10SLM、0.4~20SLM、1~50SLM、20~1000SCCM

2. 精度與線性指標

控制精度：±2%FS，高配定制可做到 ±1.5% FS

線性誤差：≤±1% FS，精密版≤±0.7% FS

重復精度：≤±0.2% FS

響應速度：3s 內收斂至設定值 ±2% FS 以內

3. 壓力工況

最大工作壓力1.0MPa，耐壓 1.5MPa；標準壓差 34~275kPa

4. 信號與供電

供電：DC24V

設定輸入：0~5V DC 模擬電壓

流量反饋輸出：0~5V DC

通訊可選：RS485 Modbus、DB9 串口數字通訊

5. 介質適配

適配氮氣、氬氣、氧氣、壓縮空氣、氦氣等常規惰性 / 工藝氣體；可定制耐腐蝕材質適配微量腐蝕性氣體。

典型應用場景

氣體配比混合系統、真空鍍膜機、等離子清洗設備、實驗室分析儀器、尾氣檢測裝置、熱處理保護氣精準供氣、小型半導體工藝設備氣路控制。