OHKURA大倉 MF5100B 工業級質量控制器
OHKURA大倉 MF5100B 工業級質量控制器

MF5100B 系列是一款質量流量計和質量流量控制器，它兼具易用性和高性能，具有寬廣的流量范圍、高溫度穩定性以及三種模式的軟啟動功能。

特征

■ 寬廣的流量范圍：

流量范圍寬廣，最小流量為 5 SCCM，最大流量為 400 SLM。

■ 高可靠性：

通過集成各個回路并優化機械系統，即使體積小巧，也能實現高可靠性。

■ 軟啟動功能

：內置軟啟動功能，提供線性上升時間，可調節（最長 70 秒），并可在三種模式下運行（設置更改時、通電時以及外部閥門關閉時）。

■ 高穩定性

：溫度穩定性為 0.05%/℃，泄漏等級最高可達1 × 10?1? Pa?m3 /

s(He)

核心硬核參數

流量量程跨度：5SCCM ~ 400SLM，覆蓋微量到工業大流量全區間，遠超 MF1100B 上限 20SLM

精度等級

線性度≤±0.5%FS，重復精度≤±0.2% FS；MF1100B 僅 ±2% FS，穩定性提升 4 倍以上

泄漏指標：氦氣泄漏率低至1.013×10?1?Pa·m3/s，密封性適配半導體特氣嚴苛要求

軟啟動功能：3 種模式可調，啟動時長最長 70s，杜絕氣流沖擊沖壞腔體工藝基板

壓力耐受：最大工作壓力 1.0MPa，耐壓 1.5MPa；方位安裝無零點漂移

電氣配置

標配 DC24V 供電；0~5V/4~20mA 雙模擬信號可選；原生支持 RS485 Modbus、RS232；可搭配 SE5000C 專用數顯電源模塊組網采集數據

介質適配：常規惰性氣體 + 可定制哈氏合金 / 316L 防腐內件，適配腐蝕性特種工藝氣體（硅烷、磷化氫等）