LINTEC琳得科 MC-7000 流量控制器

LINTEC琳得科 MC-7000 流量控制器

核心優勢

極速響應

典型響應時間僅 100ms，最大控制響應≤200ms，對比普通 MFC 控速提升數倍，適合脈沖式、高頻切換工藝氣體場景。

超高流量精度

25%~100% 滿量程：±1.0% 設定值（S.P.）

2%~25% 低量程段：±0.25% 滿量程（F.S.）

重復性：±0.2% F.S.，低溫漂移小，自帶環境溫度實時補償傳感器。

耐腐蝕高潔凈結構

氣路接觸材質：SUS316L 不銹鋼、PCTFE/PTFE，金屬硬密封；

檢漏標準：He 泄漏率 1×10?11 Pa?m3/s，真空無塵制程適配；

壓電式隔離控制閥，死容積極小，適配 Cl?、WF?等腐蝕氣體。

工業總線通訊（D 型號）

MC-7000D 支持 EtherCAT / DeviceNet 雙工業總線，高速組網，適配自動化半導體產線；C 型號為傳統模擬信號輸出LINTEC。

關鍵技術規格

1. 流量量程（N?換算）

MC-7100：10 ~ 5000 SCCM

MC-7200：5 ~ 20 SLM

流量可控區間：2% ~ 100% F.S.

2. 壓差與工況

工作壓差：50~300 kPa

≤10SLM：最小壓差 100kPa

20SLM 機型：最小壓差 200kPa

使用環境溫度：5 ~ 50℃

供電：DC 11~24V（推薦 24VDC）

閥體可選：常閉 NC / 常開 NO 兩種閥型

3. 機械與密封

標準接頭：1.125 C-seal / W-seal、124mm VCR 真空接頭

整機重量：約 1kg，緊湊型機身

安裝孔位：M4 固定螺紋，設備集成方便