LINTEC琳得科 MC-3000L-TC 分體流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3000L-TC 分體流量控制器

產品定位

TC=Temperature Controlled 高溫加熱分體專用款，基于 MC-3000L 本體升級，氣路閥體獨立加熱、控制電路常溫隔離，專為 TEOS、TMA、液態 / 固態升華前驅體、易冷凝腐蝕氣體設計，防止源氣體管路冷凝堵塞；通訊為 RS485 Modbus，實驗室研發 CVD、小型 ALD、汽化器配套主流高溫 MFC。

核心結構優勢（分體隔熱）

整機分為兩部分，線纜連接：

高溫加熱閥體塊：接觸氣體全部恒溫加熱，最高 120℃

控制驅動電路板：獨立常溫腔體（5~50℃），不受高溫烘烤，長期穩定不漂移

斷電烘烤最高耐受 150℃，適配腔體整體烘烤工藝。

核心關鍵特性

兩檔恒溫規格（型號后綴 - L /-H）

TC-L：恒溫區間 80~100℃，常規液態源（TEOS、硅烷衍生物）

TC-H：恒溫區間 100~120℃，高沸點升華源、高粘度有機金屬前驅體

耐腐蝕高潔凈氣路

介質接觸：SUS316L 不銹鋼 + PCTFE

密封：鍍金金屬硬密封，He 檢漏＜1×10?11 Pa?m3/s

兼容鹵素、有機金屬、臭氧等腐蝕 / 易分解氣體

流量精度指標

可控區間：2%~100% 滿量程

25%~100% FS：±1.0% 設定值

重復性：±0.2% FS，低微量配比穩定

通訊與模擬雙輸出

數字：RS485 兩線 Modbus

模擬備份：0~5V 流量設定 + 0~5V 流量反饋，無總線設備可直連儀表

壓電隔膜閥，極小死容積

脈沖式前驅體供氣無殘留、無交叉污染；閥體默認常閉 NC，可定制常開 NO

供電特殊要求（區別 MC5000/7000）

雙極性直流：+15VDC (100mA)、-15VDC (200mA)，不能單用 24V 供電