LINTEC琳得科 MM-3000L 氣體流量控制器

LINTEC琳得科 MM-3000L 氣體流量控制器

產品定位

MM-3000L 僅流量測量、不帶調節閥，屬于MFM 流量計；同平臺 MC-3000L 是帶閥可閉環控制的 MFC，二者傳感器、通訊、供電同源，僅有無閥體為核心區別。

專門用于半導體、鍍膜、臭氧、微量腐蝕氣體實時流量監測，搭配外部調節閥（CV-1000）或汽化器實現整套流量閉環控制，適合需要獨立采集流量數據、單獨控閥的工藝管路。

核心特性

同源高精度傳感

35%~100% FS：±1.0% 設定值 (S.P.)

2%~35% 低流量段：±0.35% 滿量程 (F.S.)

重復性：±0.2% F.S.，溫漂極低（零點 / 量程 ±0.02% FS/℃）

高潔凈耐腐蝕金屬密封

介質接觸 SUS316L 不銹鋼 + PCTFE，鍍金金屬硬密封，He 檢漏 1×10?11 Pa?m3/s；兼容臭氧、鹵素腐蝕氣體、有機金屬載氣，無橡膠件氧化老化問題。

數字 + 模擬雙信號輸出

數字：RS485 Modbus（后綴 L 統一代表 RS485）

模擬：0~5V 流量讀數輸出（僅監測信號，無設定輸入）

供電規格

雙極性直流：+15V /-15V，不可使用 24V 單電源（MC5000/7000 為 24V）。

寬量程覆蓋

標準 N?標定量程：5 SCCM ~ 250 SLM，支持 1SCCM 以下超微量定制。

工況環境

使用溫度 5~50℃，耐壓 1MPa (G)，標準壓差 400kPa (D) 以內，任意角度安裝。