NEW-MEGA 半導體行業主力工藝隔膜閥

• FP-ND：直通型氣動隔膜閥

• FPR-ND：90° 直角氣動隔膜閥

• ND = Normal Diaphragm 標準通流隔膜；對比你剛看過的 NSD（小流量隔膜閥）

日本Fujikin富士金 標準流量金屬隔膜閥 型號命名

1. FPR：90° 直角閥體、氣動 NC 常閉（失氣關閉）

   FP-ND：直通閥體；如需常開指定 NO 執行器

2. ND：二通標準流量金屬隔膜閥

   NDTB：三通切換隔膜閥

   SS2：兩段開度可調版本（大小流量切換）

3. 接頭代碼（和 UBF 系列統一規則）

• 71：UJR 金屬墊片接頭（公頭 / 母頭 - 2）

• 51：焊接接口 AW 短焊嘴 / BW 加長焊嘴

• 91：F900 雙卡套接頭

4. 6.35 / 9.52 / 12.7：管材外徑 mm

5. -2：兩端 UJR 母頭；無后綴 = 兩端 UJR 公頭

6. 后綴選配

• #A：標準禁油脫脂 COF

• UP：內壁超電解拋光 Ra≤0.07μm

• EP：標準電解拋光 Ra≤0.25μm

• PI：PI 耐高溫閥座（標準 PCTFE）

• LS/RS2：位置反饋傳感器

全系標準型號清單

1）UJR 接頭 FPR-ND-71

2）焊接版本 FPR-ND-51

• FPR-ND-51-6.35#A（AW 短焊嘴）

• FPR-ND-51-6.35BW#A（BW 加長焊嘴，潔凈室軌道焊）

• FPR-ND-51-9.52BW#A

3）雙卡套版本 FPR-ND-91

4）兩段可調型號 SS2

通用技術參數

壓力與溫度

• 最高使用壓力：1.0 MPa（40℃）

• PCTFE 標準閥座：-10℃ ~ +80℃

• PI 閥座選配：-10℃ ~ +150℃

SS2 兩段調節款上限溫度：-10 ~ +40℃

接液材質

• 閥體：SUS316L / SUS316LP 低碳不銹鋼

• 隔膜：Elgiloy 鎳鈷合金雙層金屬隔膜

• 閥座：標準 PCTFE；可選 PI

氣動驅動參數

• 標準動作：NC 常閉；可選 NO 常開

• 驅動氣源壓力：0.39～0.59 MPa

• 驅動接口：M5×0.8

泄漏指標（出廠逐臺氦檢）

• 閥座內泄漏 ≤5×10?12 Pa?m3/s

• 隔膜外部泄漏 ≤5×10?12 Pa?m3/s

開關耐久壽命

• Φ6.35：≥400 萬次

• Φ9.52：≥200 萬次

• Φ12.7：≥150 萬次

潔凈規格

四、適用介質

典型運用場景

1. VMB 閥組盤、Gas Box 二次配主工藝切斷閥

2. 刻蝕、ALD、CVD、LPCVD 設備 MFC 上游 / 下游主切斷

3. 腔體主供氣、吹掃回路自動開關

4. 光伏、OLED 面板 PECVD 工藝氣路

5. 需要頻繁啟閉、要求低微粒、快速氣體置換的自動化回路

核心優勢：流道近乎零死容積，氣體置換快；金屬隔膜無閥桿摩擦，發塵極低；數百萬次耐久，適合全天頻繁開關。