光刻膠是目前半導體行業重要的功能性材料。光刻膠可以根據其 主要單體的類型進行分類，對單體的識別可以快速判定其類型。 除單體外，影響其應用性質的成分還包括溶劑、引發劑、光感劑 等，通常來說這些成分會隨膠乳的應用場景變化而有所調整。珀金埃爾默公司的熱重-紅外-氣質聯用三聯機，可以針對這類稍復 雜樣品進行準確的成分識別，從而評估其光化學特性及應用場 景，并針對一些逆向相關的工程應用提供數據性的支持。
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珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司 | 下載次數 |
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