電阻率是決定半導體材料電學特性的重要參數，為了表征工藝質量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。

四探針法是目前測試半導體材料電阻率的常用方法，因為此法設備簡單、操作方便、測量精度高且對樣品形狀無嚴格要求。

四探針法操作規范：要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面；在外邊兩根探針之間輸出電流的同時，測試中間兩根探針的電壓差；后，通過樣品的幾何參數，輸出電流源和測到的電壓值來計算得出電阻率。

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四探針法測試系統需要哪些設備？

四探針法測試系統結構

今天給大家介紹的四探針法測試系統主要由吉時利源表、四探針臺和上位機軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或后面板排線接口連接到源表上。

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吉時利源表為何能被應用于四探針法呢？

吉時利源表智能觸屏界面提供I-V示圖功能

很多工程師都選吉時利公司開發的高精度源表，源于它能夠簡化測試連接，得到準確的測試結果。吉時利源表既可以在輸出電流時測試電壓，也可以在輸出電壓時測試電流。輸出電流范圍從皮安級到安培級可控，測量電壓分辨率高達微伏級。吉時利源表支持四線開爾文模式，因此很適合四探針法測試。這里配置的是吉時利2400系列的源表（2450/2460）。

吉時利2400系列源表性能

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四探針法測試方案能帶來哪些好處？

讀數便捷：系統提供上位機軟件，內置電阻率計算公式，符合國標硅單晶電阻率測試標準，測試結束后直接從電腦端讀取計算結果，方便后續數據的處理分析

精準度高：提供正向/反向電流換向測試，可以通過電流換向消除熱電勢誤差影響，提高測量精度值

適用性強：四探針頭采用碳化鎢材質，間距 1 毫米，探針位置精確穩定。采用懸臂式結構，探針具有壓力行程。針對不同材料的待測件，提供多種不同間距，不同針尖直徑的針頭選項

靈活性好：探針臺具備粗/細兩級高度調整，細微調整時，高度分辨率高達 2 微米，精密控制探針頭與被測物之間的距離，防止針頭對被測物的損害

誤差更小：載物盤表面采用絕緣特氟龍圖層，降低漏電流造成的測試誤差