Osaka Vacuum(大阪真空)是一家專業的真空泵和真空系統制造商,成立于 1950 年,擁有 70 多年的技術積累和豐富經驗。以下是其真空泵的簡介:
液環式真空泵:大阪真空的液環式真空泵可以使用水或各種密封液,能對含有水蒸氣或各種有機溶劑的氣體進行排氣,還可通過封閉循環系統減少廢液。該泵可以與羅茨泵串聯,用較少的能量實現大量排氣,以達到高真空環境(PRL 系列);也可串聯大氣噴射器,防止氣蝕現象(1 段噴射器:WA 系列,2 段噴射器:WB 系列)。
油擴散真空泵:如 DP 系列油擴散真空泵,沒有機械移動部件,堅固耐用,液壓油沖擊引起的壓力波動小,可靠性高,且結構易于拆卸,便于內部清潔、維護和檢查。它通過高速蒸汽射流將氣體分子從泵入口傳輸至出口,從而產生高真空環境,廣泛應用于真空熱處理爐、真空蒸發、電子束焊接、濺射設備的排氣系統等。
干式真空泵:以 DSP251 為例,該泵具有便攜式、結構緊湊、重量輕的特點,不易受外界干擾。它采用無齒輪調速結構,無需使用潤滑油,標配氣鎮裝置,采用風冷方式,無需冷卻水。此外,該泵還具有低噪音、低振動、節能等特點,可實現接近大氣壓的高抽氣速度,排氣清潔,廣泛應用于掃描電子顯微鏡、光刻、醫療器械、負載鎖 / 傳送室排氣、分析設備等領域。
多種氣體處理能力:液環式真空泵能處理含有水蒸氣或有機溶劑的氣體,油擴散真空泵和干式真空泵等也可針對不同工藝需求,對多種氣體進行有效排氣。
高可靠性:油擴散真空泵無機械移動部件,減少了因機械磨損導致的故障,液壓油沖擊引起的壓力波動小,運行可靠。
清潔環保:干式真空泵無需潤滑油,避免了油污染,排氣清潔,符合環保要求。
大阪真空的真空泵廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、電子束焊接、真空熱處理、醫療器械、分析設備等多個領域,能夠滿足不同行業對真空環境的需求。