在1.9kg輕巧機身內實現6L/min穩定抽速與干式無油運行，以兩級排氣設計和50年技術積淀，定義小型設備內置真空泵的行業

在半導體自動化、醫療儀器、實驗室分析和光學設備等眾多前沿領域，真空環境往往是實現精密操作的核心前提。然而，面對日益緊湊的設備空間、對潔凈度的嚴苛要求以及連續穩定運行的可靠性需求，傳統的油封式真空泵因體積龐大和油霧污染而難以適用，而大型干泵又因成本和尺寸無法嵌入小型設備。如何在有限的安裝空間內，獲得一臺兼具潔凈無油、穩定可靠和易于集成的微型真空源，始終是設備工程師面臨的核心挑戰。

針對這一需求，日本ULVAC（愛發科）推出的DAP-6D二段式隔膜型干泵，以其手掌級的緊湊尺寸、干式無油的潔凈設計和60年真空技術積淀，成為眾多精密設備制造商的內置真空解決方案。

產品定位：為設備內置而生的微型干式真空泵

DAP-6D隸屬于愛發科DAP系列隔膜型干泵，是該系列中最小型的膜片泵之一。其設計理念源于對設備集成需求的深刻洞察：在半導體封測設備、醫療分析儀器、自動化產線等場景中，真空源往往需要嵌入有限空間，同時必須保證不對核心工藝產生任何污染。DAP-6D以91mm（寬）×163mm（長）×100.6mm（高）的緊湊尺寸和1.9kg的輕巧重量，契合了這一需求。

作為一款標準型干式真空泵，DAP-6D專注于提供大氣壓至低真空區間的穩定抽氣能力，在50Hz下有效排氣速度為6L/min，極限壓力可達6.65×103 Pa（約-94.7 kPa表壓）。這一性能區間精準覆蓋了真空吸附、樣品搬運、快速脫氣等絕大多數設備內置場景的需求。

核心技術原理：隔膜往復運動與兩級排氣設計

DAP-6D的核心技術在于將經典的隔膜泵原理與兩級排氣結構融合。

泵體通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。當電機驅動偏心輪旋轉時，帶動膜片上下往復運動：吸氣行程中膜片向下運動，泵腔容積增大形成負壓，吸入氣體；排氣行程中膜片向上運動，壓縮氣體并通過排氣閥排出。這一過程在無油環境下完成，氣體接觸區域不使用任何潤滑油，從根本上杜絕了油蒸汽對真空系統和環境的污染。

二段式（兩級）排氣系統是DAP-6D區別于單級泵的技術亮點。兩個泵室串聯工作，一級排出的氣體進入第二級進一步壓縮，從而獲得比單級泵更低的極限壓力（更高的真空度）。這種設計使DAP-6D在保持微型尺寸的同時，實現了媲美大型泵的真空性能。

六大核心技術特性

1. 干式無油：真正潔凈的真空環境

DAP-6D的氣體接觸部位不使用油，這意味著它能提供真正潔凈的真空環境，不會污染被處理的樣品、產品或真空腔室。對于半導體晶圓搬運、醫療器械、分析儀器等對潔凈度要求高的場合，這一特性使其成為不可替代的選擇。

2. 兩級排氣：微型機身中的高性能表現

與單級排氣系統相比，兩級結構顯著提升了極限真空度。實測數據顯示，DAP-6D的極限壓力可達6.65×103 Pa，在50Hz下抽速為6L/min，60Hz下可達7L/min。這一性能足以滿足絕大多數低真空應用的需求。

3. 大氣壓下連續運行：無需預抽的即用體驗

DAP-6D明確支持在大氣壓下直接啟動并連續運行，適用于大氣壓至低真空區間的各類場合。這一特性使其在真空吸附、包裝機械等需要頻繁啟停且直接暴露于大氣的應用中表現出色。

4. 內置自動復位熱保護器：全天候安全運行

電機內置自動復位型熱保護器，在過熱時自動切斷電源，待溫度恢復正常后自動重啟。這一安全設計使設備可長期連續運行而無需人工干預，極大提升了系統的可靠性和安全性。

5. 緊湊：手掌級的集成便利性

整機尺寸僅91×163×100.6mm，重量1.9kg，可輕松嵌入各類小型設備。無論是半導體檢測設備的內部空間，還是醫療儀器的有限腔體，DAP-6D都能找到合適的安放位置。

6. 結構簡單，維護方便

無油設計和簡潔的機械結構，使DAP-6D的維護工作降至低。無需定期更換油品、無需處理油霧過濾器，大大降低了設備的全生命周期使用成本。

完整技術規格

注：極限壓力括號內為真空計顯示值。

典型應用場景

DAP-6D憑借其干式無油、緊湊輕量、穩定可靠的特點，在眾多領域成為設備內置真空源的：

使用注意事項與維護建議

為確保DAP-6D長期穩定運行，用戶需注意以下事項：

使用禁忌

• 禁止吸入：腐蝕性氣體、有機溶劑、液體、可凝性氣體（如水蒸氣）

• 禁止進入：灰塵、污垢、顆粒物

• 環境限制：室內使用，避免雨淋或潮濕場所

操作注意事項

• 重啟要求：如果在負荷運行中停止泵，可能無法立即重啟。此時需將泵內部恢復至大氣壓后再啟動

• 安裝注意：由于基礎部件組合公差，M3/M4螺釘位置可能存在微小變化，建議將安裝孔加工為長孔

• 電源注意：200V/230V規格的電機，電源線不配中間開關

產品生態與選型參考

DAP-6D是愛發科DAP系列隔膜型干泵的基礎型號，該系列覆蓋6L/min至12L/min的抽速范圍，用戶可根據具體需求選擇。對于需要更高抽速的應用，可考慮DAP-9D、DAP-12S等型號；對于需要單相100V以外電壓的應用，DAP-6D提供200V/220-230V可選規格。

結語

日本愛發科DAP-6D二段式隔膜型干泵，以其手掌級的緊湊尺寸、干式無油的潔凈設計、兩級排氣的優異性能和五十年市場驗證的可靠性，成為眾多精密設備制造商信賴的真空核心。它不僅僅是一個微型真空泵，更是連接設備功能需求與物理實現之間的關鍵技術橋梁。

從晶圓搬運的精準吸附，到醫療儀器的無菌操作；從自動包裝的高效運行，到分析儀器的穩定采樣——DAP-6D以其低調而可靠的存在，默默支撐著現代精密設備的每一次真空操作。在設備日益向小型化、智能化、高潔凈度發展的趨勢下，愛發科DAP-6D所代表的微型干泵技術，將繼續為制造業的創新升級提供源源不斷的真空動力。

關于ULVAC（愛發科）
日本ULVAC（愛發科）是的真空技術綜合制造商，擁有超過70年的技術積淀。從微型隔膜泵到大型真空鍍膜設備，ULVAC始終致力于為工業企業和科研機構提供高精度、高可靠性的真空技術與解決方案，推動半導體、顯示面板、新能源和生命科學等領域的持續創新與發展。