憑借數(shù)十年來為半導體工廠提供支持的經(jīng)驗，INFICON通過將成熟技術(shù)與深厚的應用經(jīng)驗相結(jié)合，提升了標準泄漏檢測水平。

為解決傳統(tǒng)氦氣噴射測試在長氣體管道上的局限性，專家們將氦氣泄漏檢測與受控載氣流量相結(jié)合。即使采用極低載氣流量（僅需每分鐘數(shù)標準立方厘米級），也能顯著提升檢測效能。實驗室測試證實：約100 sccm級的流量通常足以增強信號傳播與檢測效果，無需大流量供氣或改變基本測試條件。該方法的流程如下：

這種方法顯著縮短了響應時間，即使在長距離或復雜的管道系統(tǒng)中，也能在數(shù)秒內(nèi)完成泄漏檢測。

“    通過將示蹤氣體與受控載氣流量混合，設備工程師實現(xiàn)了更快、更靈敏且更可靠的泄漏檢測。這確保了在氣體管道投入運行前，其安全性、純度和性能均得到保障。   ”

——Anja Sutorius博士，INFICON應用工程師

Anja Sutorius博士解釋道：“使用氮氣作為載氣具有關(guān)鍵的額外優(yōu)勢。它能顯著減少長氣管內(nèi)殘留氦氣的量，在降低背景氦氣濃度的同時，使系統(tǒng)獲得更純凈的信號、更高的檢測靈敏度、更快的連續(xù)測試間穩(wěn)定性，并大幅降低示蹤氣體殘留風險。這種改進在潔凈室環(huán)境中尤為重要——即使微量氦氣積聚也可能干擾其他測試流程或精密工藝測量。”

工程師在泄漏測試時可選擇不同的載氣，從而在需要時維持惰性環(huán)境。

INFICON泄漏檢測方法與應用專長帶來可量化的優(yōu)勢：