真空檢漏儀的工作原理
真空檢漏儀核心是制造真空壓差,通過壓力變化或示蹤氣體(氦) 檢測泄漏,主流分兩類:
一、壓力變化法(真空衰減 / 壓降法)
把被檢件 / 測試腔抽真空,關泵保壓
有漏則外界氣體滲入,壓力上升
傳感器測壓力變化率,換算漏率
特點:低成本、通用;精度中等,適合粗檢 / 量產
二、氦質譜檢漏法(高精度主流)
被檢件抽真空,噴 / 充氦氣(示蹤氣)
氦經漏孔進入檢漏儀真空系統
離子源將氦電離為He?
磁場 / 四極場質荷比篩選,只讓氦離子通過
收集極測離子流,輸出漏率(可達10?12 Pa·m3/s)
模式:吸槍檢漏(定位)、真空檢漏(定量)、背壓檢漏(復雜件)
特點:靈敏度高、定量準;航天 / 半導體 / 真空設備優選
三、其他輔助原理
鹵素檢漏:鹵素氣體遇熱陰極電離,信號突變定位
超聲波檢漏:泄漏產生超聲,探頭捕捉定位
高頻火花:低壓真空下漏點放電打火,目視定位
核心邏輯
基礎:真空壓差驅動氣體遷移
判據:壓力上升或示蹤氣體信號
選型:粗檢用壓力法;微漏 / 精密用氦質譜
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