日本原裝小野計器ONOSOKKI三維顯微鏡單元 LV-0383的操作說明

三維顯微鏡單元 LV-0383 是一種用于激光多普勒振動計的三維顯微鏡單元。 三臺激光多普勒振動計和一臺顯微鏡設備使得在三個軸上發生的微觀物體振動能夠非接觸式檢測。 兩臺放大倍率不同于同軸電磁照明的機器※數字攝像機實現快速且準確的定位和靜態圖像錄制。

它能夠評估微機電系統（MEMS）、微結構和小質量物體，以及難以接觸檢測的超聲驅動目標振動的三維行為。

* 當LV-0181內置定位攝像頭連接到LV-1800激光多普勒振動計時

特色

0.3 Hz~100 kHz ※1可實現三軸非接觸振動檢測。

同時觀察探測目標和照射激光，以兩種倍率（視場） ※2 你可以把它放在4.5微米激光點直徑用于顯微物體探測，激光多普勒振動儀 LV-1800，LV-1710※3 / LV-1720※3 / LV-1720A※3 。

應用示例

微機電系統（MEMS）的評估

壓電器件在剪切方向上的行為測量。

超聲設備測量

微觀結構的三維振動檢測。