日本野宮產業 半導體 / 顯示器專用高精度定制工業刷
日本野宮產業專為半導體、液晶顯示器等精密制造領域打造的定制化工業刷,工藝精度、嚴苛的潔凈生產標準,成為晶圓、玻璃基板等精密部件制程清洗、去膠、拋光的核心工具,為高良率生產提供可靠保障。
這款工業刷采用定制化設計,可根據不同制程需求,靈活調整刷毛材質、排布密度、刷頭結構與尺寸規格,覆蓋圓盤刷、輥刷、條刷等全品類形態。刷毛選用高耐磨、耐化學腐蝕的優質尼龍等材質,部分型號采用非硅材料,通過特殊溶劑浸泡的硅膠去除工藝,大幅提升硅剝離效果,同時避免硅污染,適配半導體晶圓、液晶面板的超潔凈制程要求。
刷體采用一體化成型工藝,結構穩固、無異物脫落風險,可耐受各類酸堿清洗液、有機溶劑的長期浸泡,在嚴苛的半導體制造環境中保持性能穩定。刷毛采用精密排布設計,清洗力柔和均勻,既能高效去除晶圓、玻璃表面的微小顆粒、光刻膠殘留,又不會劃傷精密基材,同時支持 PVA 刷輥等特殊定制,適配清洗、水切割等多元化工序。
為滿足半導體行業的超潔凈要求,所有產品均在 100 級潔凈室中完成超純水清洗、溶劑浸泡剝離、清潔烤箱干燥與雙重包裝,可直接帶入潔凈室使用,從源頭杜絕污染風險。無論是半導體晶圓的制程清洗、CMP 后清潔,還是液晶面板的玻璃基板拋光、去膠,都能提供穩定、高效的清潔效果,助力制造的良率提升。
核心特點
全品類定制化:圓盤刷、輥刷、條刷等多形態定制,適配不同設備與制程需求
非硅低污染設計:特殊硅膠去除工藝,大幅降低硅污染風險,滿足超潔凈要求
高耐化學性材質:優質尼龍刷毛,耐受酸堿、有機溶劑,使用壽命長
潔凈室級生產:100 級潔凈室超純水清洗、雙重包裝,可直接入潔凈室使用
精密工藝保障:刷毛排布均勻,柔和高效清潔,不損傷晶圓、玻璃等精密基材
日本本土制造:野宮產業匠心工藝,品控嚴格,性能穩定可靠
適用場景
半導體晶圓制造的制程清洗、CMP 后清潔、光刻膠去除
液晶顯示器、OLED 面板的玻璃基板清洗、拋光、去膠
半導體封裝、電子元器件的精密清潔
光學玻璃、鏡頭等光學元件的超精密清洗
其他精密制造領域的超潔凈清洗、去膠工序
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