一、產品概述

GLD-202AA是日本ULVAC愛發科公司推出的一款面向中低真空領域的高功能型油回轉真空泵，屬于GLD系列中的代表性型號。該型號采用兩級排氣系統，擁有高性能、低振動、低噪聲的特點，同時搭載了氣鎮閥、防逆流機制、強制供油機構和大號油液位計等多項實用功能。寬電壓馬達的設計使其能夠在全球不同電壓標準下靈活應用，符合CE和TUV等多項國際認證要求。

作為直聯式油旋片真空泵，GLD-202AA的工作原理是通過轉子帶動葉片在泵腔內旋轉，利用油進行密封、潤滑和冷卻，將氣體從進氣口吸入、壓縮后從排氣口排出。該泵設計緊湊、運行穩定，廣泛應用于實驗室分析、工業制造、半導體加工和真空鍍膜等領域。

二、核心技術規格

GLD-202AA的詳細技術規格如下表所示：

注：極限壓力為皮拉尼真空計的測量值。若采用麥克勞德真空計測量，極限壓力在1.3 Pa以下的泵數值會低一個數量級。

三、核心功能特點

3.1 氣鎮閥（Gas Ballast Valve）—— 水蒸氣處理能力

氣鎮閥是GLD-202AA最為突出的功能配置之一，也是本型號被稱為“高功能規格”的重要標志。氣鎮閥的工作原理是在泵的壓縮腔中引入受控量的空氣或惰性氣體，這一氣體在壓縮階段與抽入的工藝氣體混合，從而提高混合氣體的露點，阻止水蒸氣及其他可凝性蒸氣在泵腔內凝結溶解于真空泵油中。

氣鎮閥的作用體現在兩個方面：

保護真空泵油免受污染：當泵抽入含有水蒸氣或有機溶劑蒸氣的混合氣體時，在壓縮過程中這些蒸氣可能因分壓達到飽和而在泵腔內凝結成液態，進而溶解并污染真空泵油。氣鎮閥通過在壓縮階段引入干燥空氣，降低了可凝性組分的分壓，使其在排氣過程中保持氣態并順利排出泵外，從而有效防止水分和可凝性物質溶入泵油。

維持極限真空度：當氣鎮閥關閉時，GLD-202AA的極限壓力可達0.67 Pa，滿足對極限真空度要求較高的工藝需求；當氣鎮閥打開時，極限壓力為6.7 Pa，此時泵體內可凝性蒸氣的排除效率高。用戶可根據工藝氣體的成分選擇合適的閥位，在真空度與耐污染性之間取得平衡。

氣鎮閥的存在使GLD-202AA在需要處理含有水蒸氣或溶劑的工藝中具有顯著優勢，例如真空干燥、冷凍干燥和化學實驗室的旋轉蒸發等應用場景，能夠顯著延長真空泵油的使用壽命和維護周期。

3.2 兩級排氣系統

GLD-202AA采用兩級排氣系統，兩個排氣腔串聯工作。第一級泵腔將氣體壓縮至中間壓力后輸送至第二級泵腔，第二級泵腔進一步將氣體壓縮至大氣壓以上后排出。兩級結構與單級排氣系統相比，能夠獲得更低的極限壓力（0.67 Pa vs 單級通常為數帕量級），真空性能明顯更優。

3.3 防逆流機構

GLD-202AA內部集成了防逆流機構，在因停電或人為緊急停機時，該機構可自動切斷進氣通道，有效防止真空泵油在壓力差作用下逆流至真空腔體內部。這一設計對于保護真空腔體、避免樣品污染具有重要意義，尤其在半導體制造和實驗室分析等對潔凈度要求較高的應用中尤為關鍵。

3.4 強制供油機構

GLD-202AA搭載了強制供油機構，通過泵體內部油路將真空泵油精確輸送至各運動部件接觸面，確保轉子、葉片和泵腔內壁之間的油膜持續穩定。強制供油系統使泵在寬壓力范圍內都能保持穩定的潤滑狀態，從而實現排氣速度的一致性。

3.5 寬電壓馬達與國際認證

GLD-202AA配備了寬電壓馬達，可支持200-240V和380-460V的三相電源輸入，在50Hz和60Hz下均可正常工作。該產品通過了CE標志自我聲明，并取得了TUV認證——經國際第三方進行產品安全測試及認證，符合歐洲標準的高質量產品。寬電壓設計和國際認證使其在全球不同國家和地區均可便捷部署和使用。

3.6 大號油液位計

泵體上安裝了大尺寸的油液位視窗，便于操作人員隨時觀察真空泵油的油位和油質狀況，及時發現油量減少或油品劣化問題，進行針對性的補充和更換。

3.7 法蘭電機設計

通過內部零件上的定位銷和法蘭電機設計，泵體的組裝和拆卸更為便捷，大幅降低了維護操作的復雜度和工時。

四、產品結構特點

GLD-202AA在結構設計上體現了愛發科對易用性和維護性的深入考量。吸氣管口徑為KF-25法蘭接口，標準配置為KF-25平法蘭（帶O型圈），與真空管路系統的連接簡便可靠。泵體長513.5 mm、寬170 mm、高240 mm的緊湊尺寸和29 kg的適中的重量使其易于集成到各類設備機柜中，同時便于搬運和安裝。

需要注意的是，GLD-202AA有日本產（GLD-202AA）和中國產（GLD-N202）兩種版本，核心性能參數一致，僅在產地和供應渠道上有所區別。

五、應用領域

GLD-202AA憑借其高抽速、高極限真空、氣鎮閥防污染能力和多項實用功能配置，在多個行業中得到廣泛應用：

• 理化實驗與實驗室分析：用于旋轉蒸發儀、真空濃縮系統、真空干燥箱等化學實驗設備，氣鎮閥可有效處理溶劑蒸氣；

• 分析儀器配套：作為色譜、光譜等精密分析儀器的前級真空泵，低振動低噪聲特性確保對儀器的干擾最小化；

• 半導體與真空鍍膜：用于濺射設備、真空蒸鍍裝置等半導體制造設備的排氣系統，極限真空度達0.67 Pa，可滿足高真空工藝的前級抽氣要求；

• 電子顯微鏡：用作電子顯微鏡的背底真空泵，穩定可靠的抽氣性能保障設備長期穩定運行；

• 真空干燥與冷凍干燥：氣鎮閥設計使其特別適合含有水蒸氣的抽氣環境，是真空干燥器和冷凍干燥器的理想配套設備。

六、使用與維護要點

GLD-202AA在設計上充分考慮用戶需求，但在實際應用中需注意以下事項：

真空泵油管理：真空泵油會隨運行時間而劣化，成為性能下降的主要原因。需定期檢查油位和油質，及時補充或更換。推薦使用愛發科SMR-100專用真空泵油，油量為1,100 mL。

電機保護：該型號未內置電機保護功能，建議外部配置電動機斷路器以保護電機免受過載損害。

運行壓力限制：不適用于在10 kPa及以上的高吸入壓力下連續運行，否則可能導致泵體過熱和油霧大量產生。

安全警示：嚴禁在排氣口關閉或排氣側氣體通道堵塞的情況下運行泵。泵內壓力升高可能導致泵體爆裂、油位計彈出或電機過載，存在爆炸風險。

停機操作：長時間停機時，應將進氣側恢復至大氣壓狀態，以保護防逆流閥機構并防止泵油吸入真空腔體。

七、總結

ULVAC愛發科GLD-202AA油回轉真空泵是一款在排氣速度、極限真空度、功能配置和使用便利性之間取得良好平衡的高性能油旋片泵。其兩級排氣系統實現0.67 Pa的低極限壓力，200 L/min（50Hz）/240 L/min（60Hz）的排氣速度覆蓋了廣泛的中低真空應用需求。氣鎮閥設計使其在水蒸氣和溶劑蒸氣處理方面具有突出優勢，防逆流機構、強制供油機構和大號油液位計等實用功能共同提升了設備的可靠性和維護便利性。寬電壓馬達和TUV國際認證保障了產品在全球范圍內的合規性與適應性。

對于需要在實驗室、分析儀器、半導體制造、真空鍍膜和真空干燥等領域獲得穩定可靠、高性價比油旋片真空解決方案的用戶，GLD-202AA憑借其綜合性能優勢，無疑是值得重點考慮的選擇。