ULVAC（愛發科）CR60B 是 CR 系列 Ver.B 風冷多級羅茨干泵的大流量主力機型，由高斯摩國際原裝供應。主打無油潔凈、空冷免水、氣鎮耐濕、大抽速高真空、低維護長壽命，提供 55 m3/h 抽速與 ≤2–3 Pa 極限真空，適配半導體、光伏鍍膜、工業真空干燥 / 脫氣等中大流量、中高真空潔凈工藝，是量產型真空系統的優選核心設備。

一、核心工作原理：多級羅茨非接觸壓縮

• 氣體由進氣口進入，經多級羅茨腔逐級壓縮，從大氣壓直抽到高真空，壓縮比高、抽氣效率強。

• 無油設計杜絕油蒸汽返流污染，保障腔室與工藝介質潔凈，適配高精度制程。

• 非接觸運轉無機械磨損、無粉塵生成，年均性能漂移極低，長期穩定、壽命長。

二、核心技術優勢（五大核心）

1. 無油潔凈，高純度真空

• 泵腔無油設計，無油蒸汽返流，適配半導體濺射 / 蒸發、光學鍍膜、真空退火等高潔凈工藝。

• 轉子與氣缸非接觸運轉，無摩擦、無粉塵，避免污染，提升良率。

2. 大抽速 + 高真空，量產高效

• 最大抽速 55 m3/h（≈917 L/min），極限真空 ≤3 Pa（CR60B?S）/ ≤0.5 Pa（CR60B?T），快速建壓、真空穩定。

• 多級壓縮結構，抽氣效率高、真空度波動小，適合連續量產線。

3. 空冷節能，免水免維護

• 強制風冷：無需冷卻水、無需氮氣吹掃，簡化管路、降低基建與運維成本。

• 標配 DC 密封電機（2.2 kW）：高效節能、氣密可靠、輕量化，噪音約 65 dB，適合車間長期運行。

4. 標配氣鎮，耐水汽工況

• 內置氣鎮（Gas Ballast）機構，安全抽除水蒸氣，最大耐水蒸氣流率 ＜500 g/h，適配真空干燥、溶劑回收、凍干等含水工況。

• 泵腔材質適配潔凈氣體與弱腐蝕介質，抗腐蝕、穩定性強。

5. 緊湊可靠，安裝靈活

• 整機 75 kg，尺寸約 600×280×280 mm，支持落地 / 機架 / 壁掛安裝，易集成、布局靈活。

• 符合 CE、cTUVus 國際認證，防護等級可選 IP54，全球通用、安全可靠。

三、關鍵技術參數（CR60B）

四、典型應用場景

1. 半導體 / 電子制造

• 濺射、蒸發、PVD/CVD 鍍膜設備配套，提供潔凈中高真空。

• 真空排氣臺、晶圓制程真空控制，穩定量產、提升良率。

2. 光伏 / 光學鍍膜

• 真空鍍膜機（AR/AF 膜、金屬膜）、真空爐、真空退火，適配精密鍍膜與熱處理。

3. 工業制造

• 真空干燥、真空脫氣、溶劑回收、冷凍干燥，適配含水汽工況。

• 真空焊接、真空包裝、檢漏儀前級泵，真空穩定可靠。

4. 科研 / 實驗室

• 中高真空系統、分析儀器（質譜 / 色譜）、環境模擬設備，精密實驗真空保障。

五、選型參考（CR 系列 Ver.B）

六、高斯摩國際｜原裝正品?全鏈路服務

• ? 日本原裝正品，CE/RoHS 認證，可溯源，1年質保。

• ? 成都 / 深圳雙倉備貨，常規型號現貨直發，縮短交付周期。

• ? 免費選型指導、安裝調試、技術培訓，全流程技術支持。

• ? 售后維保服務，快速響應，降低運維成本，保障長效運行。

總結