核心優勢

• 一體化集成設計，安裝便捷省空間：將超聲波流量檢測器、控制閥、演算控制電路集成于一體，無需額外管路與配件，大幅簡化安裝流程，適配設備內嵌與狹小空間布局。

• 高速響應閉環控制，流量穩定精準：搭載高性能 DSP 信號處理芯片，階躍響應時間≤1.5 秒，可快速跟蹤并穩定至設定流量，±0.2% FS 的高精度，滿足半導體制程的嚴苛控制要求。

• 強抗氣泡設計，復雜流體適配廣：優化的超聲波時差法算法，顯著提升抗氣泡干擾能力，純水、化學品、CMP 漿料等流體均可穩定測量，降低斷流、誤判風險。

• 輕量化機身，耐用免維護：相比上代產品體積縮小 20%、重量減輕 35%，便于搬運與安裝；夾管閥采用耐腐耐磨材質，長期使用無泄漏風險，維護成本低。

• 多信號輸出，數據可追溯：支持脈沖、報警、4-20mA 電流輸出，可選 RS485 通信接口，可與上位機聯動，實現流量數據實時監控與記錄，滿足工業質控溯源需求。

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關鍵參數

• 品牌：TOKYO KEISO（東京計裝，日本）

• 型號：CLFC300-T11-201-D1-NHO

• 測量原理：超聲波時差法

• 流量范圍：200–2000mL/min（藥液 / 純水）

• 測量精度：±0.2%FS

• 重復性：±0.1%FS

• 響應時間：≤1.5 秒

• 流體溫度：10–50℃

• 工作壓力：≤0.4MPa

• 供電方式：DC24V±10%

• 接觸液材質：PFA/PTFE

• 連接方式：φ1/4” 標準接口

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典型應用場景

• 半導體制造：CMP 設備漿料定量供給、超純水流量控制、蝕刻 / 清洗藥液精準配比。

• 精密化工：實驗室微量藥液定量輸送、高純度試劑閉環流量控制。

• 電子 / 光伏行業：晶圓制程藥液恒流控制、超薄材料制備流體輸送。

• 醫療 / 生物領域：高純緩沖液、試劑精準分配，滿足無菌無交叉污染要求。

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