1.MFC/MFM是什么

質量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）,是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器,即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）,不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。

2.MFC/MFM的單位

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。標準狀態規定為:氣壓—101325Pa(760mm Hg);溫度—0℃(273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之處。

對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min）,這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數,可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。

需要注意的是,被質量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質量流量單位,不符合國內計量標準的常用的質量流量的國際單位（Kg/min）,但是它符合國際半導體協會制定的SEMI國際標準。

3.MFC和MFM的區別

MFM監測和測量流量大小，MFC則不僅可以測量流量大小，還能對流量進行精確控制。一般而言，僅對流量進行計量或監測時，用質量流量計；需要對流量進行控制時，用質量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時候,用質量流量計;當定流測壓時, 需要用質量流量控制器。注意,當質量流量控制器處于清洗狀態時,也可以當質量流量計使用,只不過氣壓降要比普通質量流量計大一些。

4.MFC分類及測量原理

一般地MFC因其控制原理不同分為熱式MFC和壓差式MFC，兩種MFC各有其優缺點，因而應用的領域也有區別。

熱式MFC結構簡單，功耗低，適用于各種管道條件；預熱時間短，零漂小，可靠性高。且價格相對較低，使用方便，適用于廣泛的應用場景，如光伏和面板行業。

但是熱式MFC也有其缺點，因其工作模式需要長期加熱，長期使用會產生熱漂移，影響測量精度；響應時間較長，通常需要幾秒鐘才能達到穩定狀態；對濕度和污染比較敏感，濕度較大的氣體或顆粒物對傳感器輸出結果產生影響；除此之外，測量不同種類的氣體時，由于不同氣體的導熱系數、粘度、比熱容有差別，測量時可能會產生較大的誤差。

壓差式MFC的價格較高，精度也相對較高，響應速度快，適用于環境，溫度和壓力穩定性好，常用于對精度要求較高的半導體行業。它們的缺點是可能產生較大的壓降，且對環境振動敏感；除此之外，量程相對較小，適用范圍較窄。